[发明专利]一种有源矩阵有机发光二极管显示器及其制作方法有效
申请号: | 201810601417.1 | 申请日: | 2018-06-12 |
公开(公告)号: | CN108766992B | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 陈彩琴 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 有源 矩阵 有机 发光二极管 显示器 及其 制作方法 | ||
本发明提供一种有源矩阵有机发光二极管显示器及其制作方法,该制作方法包括:在衬底基板上形成屏蔽层;在所述屏蔽层上依次形成缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、第一栅极、第二栅极绝缘层、第二栅极、层间绝缘层;使用掩膜板对所述层间绝缘层进行图案化处理,以使所述层间绝缘层形成两个第一过孔;其中所述两个第一过孔的位置分别与所述源极和所述漏极的位置对应;在经过图案化处理后的层间绝缘层上依次形成源/漏极、平坦层、阳极、像素定义层及光阻间隙物。本发明的有源矩阵有机发光二极管显示器及其制作方法,能够减少显示器的整体厚度,降低生产成本。
【技术领域】
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种有源矩阵有机发光二极管显示器及其制作方法。
【背景技术】
有源矩阵有机发光二极管(Active-matrix organic light emitting diode,AMOLED)显示器的结构包括:盖板11、边框油墨层(ink)12、第一粘结层13、POL层14、触摸层15、第二粘结层16、封装层17、有机发光层18、TFT基板19、支撑层20、缓冲层21、绝缘层22、石墨层23、铜箔层24以及第三粘结层25;第三粘结层25用于粘结AMOLED的铜箔24和主板。由于现有AMOLED显示器在显示屏和主板之间设置有铜箔层24,其中铜箔层24的作用是屏蔽显示屏和主板上各功能单元之间的信号干扰,比如:电池、主存等。
现有设计中,铜箔层24和上层石墨23通过额外的OCA胶粘合或者将石墨23直接镀在铜箔层24上,但是这两种方式都会增加生产成本;再者,铜箔层24和/或OCA的厚度会增加整体AMOLED显示器的厚度。
因此,有必要提供一种有源矩阵有机发光二极管显示器及其制作方法,以解决现有技术所存在的问题。
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种有源矩阵有机发光二极管显示器及其制作方法,能够减少显示器的整体厚度,降低生产成本。
为解决上述技术问题,本发明提供一种有源矩阵有机发光二极管显示器的制作方法,其包括:
在衬底基板上形成屏蔽层;
在所述屏蔽层上依次形成缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、第一栅极、第二栅极绝缘层、第二栅极、层间绝缘层;
使用掩膜板对所述层间绝缘层进行图案化处理,以使所述层间绝缘层形成两个第一过孔;其中所述两个第一过孔的位置分别与所述源极和所述漏极的位置对应;
在经过图案化处理后的层间绝缘层上依次形成源/漏极、平坦层、阳极、像素定义层及光阻间隙物。
在本发明的有源矩阵有机发光二极管显示器的制作方法中,所述屏蔽层为金属膜层。
在本发明的有源矩阵有机发光二极管显示器的制作方法中,所述屏蔽层的材料为钼。
在本发明的有源矩阵有机发光二极管显示器的制作方法中,所述在衬底基板上形成屏蔽层的步骤包括:
通过磁控溅射工艺在衬底基板上形成屏蔽层。
在本发明的有源矩阵有机发光二极管显示器的制作方法中,所述两个第一过孔分别用于连接所述源极与所述有源层、以及连接所述漏极与所述有源层。
在本发明的有源矩阵有机发光二极管显示器的制作方法中,所述平坦层上形成有第二过孔,所述第二过孔用于连接所述阳极与所述漏极。
本发明还提供一种有源矩阵有机发光二极管显示器,其包括:
依次位于衬底基板上的屏蔽层、缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、第一栅极、第二栅极绝缘层、第二栅极、层间绝缘层、源/漏极、平坦层、阳极、像素定义层以及光阻间隙物;
所述层间绝缘层设置有两个第一过孔;所述两个第一过孔的位置分别与所述源极和所述漏极的位置对应。
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的