[发明专利]一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 201810587447.1 申请日: 2018-06-08
公开(公告)号: CN108642452B 公开(公告)日: 2020-07-03
发明(设计)人: 李海涛;钱叶球;邢武装 申请(专利权)人: 芜湖市亿仑电子有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/50
代理公司: 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 代理人: 杨红梅
地址: 241000 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,包括真空镀膜箱,真空镀膜箱内设置有支撑组件、夹持组件、升降组件、翻转组件、镀膜组件、抽真空组件和密封组件,支撑组件包括两个支撑座,支撑座内部两端设置有支撑空腔,支撑空腔通过传动通道与支撑座表面相通,支撑空腔内设置有圆弧状的支撑滑槽,支撑滑槽的一端延伸出支撑空腔,支撑滑槽内滑动设置有支撑杆,支撑杆上设置有驱动齿条,支撑空腔内设置有与驱动齿条啮合的驱动齿轮,支撑座的上端面设置有传动架,传动架上设置有传动齿轮和与传动齿轮相连的支撑电机,传动齿轮与驱动齿轮之间连接有传动同步带,便于加工件地取放,减少加工件取放时间,提高镀膜加工效率。
搜索关键词: 一种 电容器 金属化 薄膜 加工 真空镀膜
【主权项】:
1.一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其特征在于:包括真空镀膜箱(8),所述真空镀膜箱(8)内设置有支撑组件(1)、夹持组件(2)、升降组件(3)、翻转组件(4)、镀膜组件(5)、抽真空组件(6)和密封组件(7);所述支撑组件(1)包括两个支撑座(101),所述支撑座(101)内部两端设置有支撑空腔(102),所述支撑空腔(102)通过传动通道(103)与支撑座(101)表面相通,所述支撑空腔(102)内设置有圆弧状的支撑滑槽(104),所述支撑滑槽(104)的一端延伸出支撑空腔(102),所述支撑滑槽(104)内滑动设置有支撑杆(105),所述支撑杆(105)上设置有驱动齿条(106),所述支撑空腔(102)内设置有与驱动齿条(106)啮合的驱动齿轮(107),所述支撑座(101)的上端面设置有传动架(108),所述传动架(108)上设置有传动齿轮(109)和与传动齿轮(109)相连的支撑电机(110),所述传动齿轮(109)与驱动齿轮(107)之间连接有传动同步带(111),所述传动同步带(111)通过传动通道(103)进入支撑空腔(102)内。
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