[发明专利]一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机有效
| 申请号: | 201810587447.1 | 申请日: | 2018-06-08 |
| 公开(公告)号: | CN108642452B | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
| 发明(设计)人: | 李海涛;钱叶球;邢武装 | 申请(专利权)人: | 芜湖市亿仑电子有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司: | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人: | 杨红梅 |
| 地址: | 241000 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 电容器 金属化 薄膜 加工 真空镀膜 | ||
1.一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其特征在于:包括真空镀膜箱(8),所述真空镀膜箱(8)内设置有支撑组件(1)、夹持组件(2)、升降组件(3)、翻转组件(4)、镀膜组件(5)、抽真空组件(6)和密封组件(7);
所述支撑组件(1)包括两个支撑座(101),所述支撑座(101)内部两端设置有支撑空腔(102),所述支撑空腔(102)通过传动通道(103)与支撑座(101)表面相通,所述支撑空腔(102)内设置有圆弧状的支撑滑槽(104),所述支撑滑槽(104)的一端延伸出支撑空腔(102),所述支撑滑槽(104)内滑动设置有支撑杆(105),所述支撑杆(105)上设置有驱动齿条(106),所述支撑空腔(102)内设置有与驱动齿条(106)啮合的驱动齿轮(107),所述支撑座(101)的上端面设置有传动架(108),所述传动架(108)上设置有传动齿轮(109)和与传动齿轮(109)相连的支撑电机(110),所述传动齿轮(109)与驱动齿轮(107)之间连接有传动同步带(111),所述传动同步带(111)通过传动通道(103)进入支撑空腔(102)内;所述夹持组件(2)包括设置在支撑座(101)两端的夹持座(201),所述夹持座(201)上设置有推动气缸(202),所述推动气缸(202)的输出端连接有竖直的夹持板(203),所述夹持板(203)的上下两端设置有固定架(204),两个所述的固定架(204)之间连接有双向丝杠(205),其中一个所述的固定架(204)上设置有与双向丝杠(205)相连的丝杠驱动电机(206),所述双向丝杠(205)上设置有两个丝杠螺母座(207),所述丝杠螺母组(207)上设置有夹板(208);所述升降组件(3)包括设置真空镀膜箱(8)内壁两侧的升降滑轨(301),所述升降滑轨(301)上滑动设置有升降滑座(302),所述升降滑轨(302)上设置有升降齿条(303),所述升降滑座(302)正对着升降滑轨(302)的面上设置有齿条通过槽(304),所述升降滑座(302)的上端设置有与升降齿条(303)啮合的升降齿轮(305),所述升降齿轮(305)连接有升降驱动电机(306)。
2.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其特征在于:所述翻转组件(4)包括转动套筒(401),所述转动套筒(401)设置在升降滑座(302)上,所述转动套筒(401)内可转动穿设有翻转转轴(402),所述翻转转轴(402)连接有转动板(403),两个所述的转动板(403)分别与两个支撑座(101)相连。
3.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其特征在于:所述镀膜组件(5)包括用于往真空镀膜箱(8)内注入金属蒸汽的蒸汽输出口(501)和设置在真空镀膜箱(8)内壁上的正电极板(502)与负电极板(503),所述正电极板(502)与负电极板(503)正对着两个支撑座(101)之间的区域。
4.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其特征在于:所述抽真空组件(6)包括抽真空泵(601),所述抽真空泵(601)的一端依次通过气动插板阀(602)和限流阀(603)与真空镀膜箱(8)相连。
5.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其特征在于:所述真空镀膜箱(8)的上端敞开为取件口(9),所述密封组件(7)包括设置在取件口(9)的上方设置有密封固定座(701),所述密封固定座(701)通过支架固定在地面上,所述密封固定座(701)上设置有密封驱动气缸(702),所述密封驱动气缸(702)的输出端竖直向下穿过密封固定座(701),且该输出端连接有密封板(703)。
6.根据权利要求5所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其特征在于:所述密封板(703)的下端边缘和取件口(9)的边缘处设置有极性相反的电磁环(704),所述电磁环(704)的表面设置有密封缓冲垫(705)。
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