[发明专利]一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机

说明书

本发明公开了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，包括真空镀膜箱，真空镀膜箱内设置有支撑组件、夹持组件、升降组件、翻转组件、镀膜组件、抽真空组件和密封组件，支撑组件包括两个支撑座，支撑座内部两端设置有支撑空腔，支撑空腔通过传动通道与支撑座表面相通，支撑空腔内设置有圆弧状的支撑滑槽，支撑滑槽的一端延伸出支撑空腔，支撑滑槽内滑动设置有支撑杆，支撑杆上设置有驱动齿条，支撑空腔内设置有与驱动齿条啮合的驱动齿轮，支撑座的上端面设置有传动架，传动架上设置有传动齿轮和与传动齿轮相连的支撑电机，传动齿轮与驱动齿轮之间连接有传动同步带，便于加工件地取放，减少加工件取放时间，提高镀膜加工效率。

技术领域

本发明涉及镀膜设备技术领域，具体为一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机需要镀膜的对象被称为工件(或基片)，需要镀在工件上的材料被称为靶材，如硅靶、铌靶、铝靶、钛靶等。工件与靶材同在真空腔中。在真空条件下，通入一定气压的氩气，氩气在高电压(300-800V)电场作用下电离为氩离子，氩离子加速轰击靶材，从而将靶材材料溅射到工件表面，形成薄膜。

例如，申请号201610569203.1的中国发明专利公开了一种真空镀膜机，其工件架可跟随公转齿轮沿公转齿轮的圆周向方向公转，并且工件架在公转的同时，与其固定连接的自转齿轮在固定齿轮的作用下旋转，由于自动齿轮与转轴固定连接，因此，转轴以及工件架均能以转轴的轴心为中心进行自转。由于工件架能自转，因此，可以在工件架的侧面上均装载上工件，各侧面上的工件在自转过程中，均可旋转至与靶材相对的位置，从而各侧面上的工件均能完成镀膜。而现有的真空镀膜机的工件架不能自转，因此只能在其一侧面上装载工件，可见，相比于现有的真空镀膜机，本发明的真空镀膜机可以在工件架的各个侧面上装载工件，装炉量为现有镀膜机的三倍多，在一次镀膜作业中，能给更多的工件镀膜，提高了生产效率

但是，使用该真空镀膜机时，加工件地放置和取出较为麻烦，比较耽误时间，影响了工件镀膜的效率。

发明内容

为了克服现有技术方案的不足,本发明提供一种便于加工件地取放，减少加工件取放时间，提高镀膜加工效率的电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，能有效的解决背景技术提出的问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，包括真空镀膜箱，所述真空镀膜箱内设置有支撑组件、夹持组件、升降组件、翻转组件、镀膜组件、抽真空组件和密封组件；

所述支撑组件包括两个支撑座，所述支撑座内部两端设置有支撑空腔，所述支撑空腔通过传动通道与支撑座表面相通，所述支撑空腔内设置有圆弧状的支撑滑槽，所述支撑滑槽的一端延伸出支撑空腔，所述支撑滑槽内滑动设置有支撑杆，所述支撑杆上设置有驱动齿条，所述支撑空腔内设置有与驱动齿条啮合的驱动齿轮，所述支撑座的上端面设置有传动架，所述传动架上设置有传动齿轮和与传动齿轮相连的支撑电机，所述传动齿轮与驱动齿轮之间连接有传动同步带，所述传动同步带通过传动通道进入支撑空腔内。

进一步地，所述夹持组件包括设置在支撑座两端的夹持座，所述夹持座上设置有推动气缸，所述推动气缸的输出端连接有竖直的夹持板，所述夹持板的上下两端设置有固定架，两个所述的固定架之间连接有双向丝杠，其中一个所述的固定架上设置有与双向丝杠相连的丝杠驱动电机，所述双向丝杠上设置有两个丝杠螺母座，所述丝杠螺母组上设置有夹板。

进一步地，所述升降组件包括设置真空镀膜箱内壁两侧的升降滑轨，所述升降滑轨上滑动设置有升降滑座，所述升降滑轨上设置有升降齿条，所述升降滑座正对着升降滑轨的面上设置有齿条通过槽，所述升降滑座的上端设置有与升降齿条啮合的升降齿轮，所述升降齿轮连接有升降驱动电机。