[发明专利]一种金属掩膜板及其制备方法在审
| 申请号： | 201810581706.X | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN110578111A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 李晓凯;兰兰 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201506 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属掩膜板及其制备方法。所述金属掩膜板的制备方法包括：提供掩膜板基材；在所述掩膜板基材的第一侧减薄所述中间部中的第一区域，所述第一区域包括所述非显示区；在所述第一侧形成所述至少一个显示区内的多个像素开孔。本发明实施例提供的技术方案，使得形成的金属掩膜板中显示区与周围区域强度之差减小，金属掩膜板在张网过程中产生褶皱的几率降低，金属掩膜板的张网精度得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 金属掩膜板 第一区域 掩膜板 基材 张网 制备 褶皱 非显示区 周围区域 显示区 中间部 减薄 减小 开孔 像素 | ||
【主权项】：
1.一种金属掩膜板的制备方法，其特征在于，包括：/n提供掩膜板基材，所述掩膜板基材包括中间部以及分别位于所述中间部相对两侧的第一边缘部和第二边缘部，所述中间部包括至少一个显示区和非显示区，所述至少一个显示区所在区域分别与所述第一边缘部和所述第二边缘部距离最近的边为第一边和第二边，所述第一边位于所述中间部与所述第一边缘部的交界线上，所述第二边位于所述中间部与所述第二边缘部的交界线上；/n在所述掩膜板基材的第一侧减薄所述中间部中的第一区域，所述第一区域包括所述非显示区；/n在所述第一侧形成所述至少一个显示区内的多个像素开孔，以形成所述金属掩膜板。/n
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