[发明专利]一种金属掩膜板及其制备方法

说明书

本发明公开了一种金属掩膜板及其制备方法。所述金属掩膜板的制备方法包括：提供掩膜板基材；在所述掩膜板基材的第一侧减薄所述中间部中的第一区域，所述第一区域包括所述非显示区；在所述第一侧形成所述至少一个显示区内的多个像素开孔。本发明实施例提供的技术方案，使得形成的金属掩膜板中显示区与周围区域强度之差减小，金属掩膜板在张网过程中产生褶皱的几率降低，金属掩膜板的张网精度得到提高。

技术领域

本发明实施例涉及金属掩膜板的制备技术，尤其涉及一种金属掩膜板及其制备方法。

背景技术

有机发光显示装置具有自发光无需背光、可实现柔性显示、宽广视角以及高色彩饱和度等优点，被广泛应用于各种电子设备中，备受用户青睐。

有机发光显示装置的制备过程中，蒸镀材料通过金属掩膜板的掩遮而蒸镀至基板上像素对应位置处，形成有机发光功能层。金属掩膜板包括与后续形成的显示基板的显示区对应的显示区，该显示区内设置有多个像素开孔，导致显示区的强度低于周围区域的强度，使得在金属掩膜板的张网过程中，金属掩膜板显示区和其他区域强度不同，易产生褶皱，尤其对于具有异形显示区的金属掩膜板，上述问题会更加突出。

发明内容

本发明提供一种金属掩膜板及其制备方法，以减小形成的金属掩膜板中显示区与周围区域强度之差，降低金属掩膜板在张网过程中产生褶皱的几率，提高金属掩膜板的张网精度。

第一方面，本发明实施例提供了一种金属掩膜板的制备方法，所述金属掩膜板的制备方法包括：

提供掩膜板基材，所述掩膜板基材包括中间部以及分别位于所述中间部相对两侧的第一边缘部和第二边缘部，所述中间部包括至少一个显示区和非显示区，所述至少一个显示区所在区域分别与所述第一边缘部和所述第二边缘部距离最近的边为第一边和第二边，所述第一边位于所述中间部与所述第一边缘部的交界线上，所述第二边位于所述中间部与所述第二边缘部的交界线上；

在所述掩膜板基材的第一侧减薄所述中间部中的第一区域，所述第一区域包括所述非显示区；

在所述第一侧形成所述至少一个显示区内的多个像素开孔，以形成所述金属掩膜板。

第二方面，本发明实施例还提供了一种金属掩膜板，所述金属掩膜板采用第一方面所述的金属掩膜板的制备方法形成。

本发明实施例提供的技术方案，通过在掩膜板的第一侧减薄中间部中的第一区域，其中第一区域包括非显示区，并在第一侧形成至少一个显示区内的多个像素开孔，使得形成的金属掩膜板中显示区与周围区域强度之差减小，金属掩膜板在张网过程中产生褶皱的几率降低，金属掩膜板的张网精度得到提高。

附图说明

为了更加清楚地说明本发明示例性实施例的技术方案，下面对描述实施例中所需要用到的附图做一简单介绍。显然，所介绍的附图只是本发明所要描述的一部分实施例的附图，而不是全部的附图，对于本领域普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图得到其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种金属掩膜板的制备方法的流程示意图；

图2是本发明实施例提供的一种掩膜板基材的俯视示意图；

图3是沿图1中虚线AB的剖面结构示意图；

图4是沿图1中虚线CD的剖面结构示意图；

图5是本发明实施例提供的一种金属掩膜板的俯视示意图；

图6是沿图5中虚线EF的剖面示意图；

图7是沿图5中虚线GH的剖面示意图；

图8是沿图5中虚线EF的又一种剖面示意图；

图9为沿图5中虚线EF的又一种剖面示意图；