[发明专利]一种剥离液再生工艺段的光刻胶去除方法在审
| 申请号： | 201810529444.2 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN108873627A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 周建;蔡雅棠;马晓明;申丹丹;王超 | 申请（专利权）人： | 四川久远化工技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;B01D1/22 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 唐邦英 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种剥离液再生工艺段的光刻胶去除方法，包括以下步骤：1)、进料：除去水分后的物料由进料管进入到薄膜蒸发器内，所述进料管上设置有换热器，所述换热器将物料的温度降至操作压力下的泡点以下；2)、物料分离：物料进入薄膜蒸发器后，有效成分被蒸发实现与光刻胶的分离，被蒸发的气态物料由排料管导出进入下一级工序；3)、光刻胶导出：光刻胶进入到薄膜蒸发器下端的残渣中间罐进行缓冲过渡，然后导出。本发明不仅能够实现去除物料中光刻胶的目的，且能够有效防止薄膜蒸发器内出现闪蒸。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜蒸发器 光刻胶 导出 剥离液再生 光刻胶去除 工艺段 换热器 进料管 蒸发 操作压力 气态物料 物料分离 排料管 温度降 中间罐 缓冲 泡点 闪蒸 去除 | ||
【主权项】：
1.一种剥离液再生工艺段的光刻胶去除方法，其特征在于，包括以下步骤：1)、进料：除去水分后的物料由进料管(1)进入到薄膜蒸发器(4)内，所述进料管(1)上设置有换热器(2)，所述换热器(2)将物料的温度降至操作压力下的泡点以下；2)、物料分离：物料进入薄膜蒸发器(4)后，有效成分被蒸发实现与光刻胶的分离，被蒸发的气态物料由排料管(3)导出进入下一级工序；3)、光刻胶导出：光刻胶进入到薄膜蒸发器(4)下端的残渣中间罐(5)进行缓冲过渡，然后导出。
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