[发明专利]一种剥离液再生工艺段的光刻胶去除方法在审
| 申请号： | 201810529444.2 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN108873627A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 周建;蔡雅棠;马晓明;申丹丹;王超 | 申请（专利权）人： | 四川久远化工技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;B01D1/22 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 唐邦英 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜蒸发器 光刻胶 导出 剥离液再生 光刻胶去除 工艺段 换热器 进料管 蒸发 操作压力 气态物料 物料分离 排料管 温度降 中间罐 缓冲 泡点 闪蒸 去除 | ||
1.一种剥离液再生工艺段的光刻胶去除方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)、进料：除去水分后的物料由进料管(1)进入到薄膜蒸发器(4)内，所述进料管(1)上设置有换热器(2)，所述换热器(2)将物料的温度降至操作压力下的泡点以下；
2)、物料分离：物料进入薄膜蒸发器(4)后，有效成分被蒸发实现与光刻胶的分离，被蒸发的气态物料由排料管(3)导出进入下一级工序；
3)、光刻胶导出：光刻胶进入到薄膜蒸发器(4)下端的残渣中间罐(5)进行缓冲过渡，然后导出。
2.根据权利要求1所述的一种剥离液再生工艺段的光刻胶去除方法，其特征在于，所述残渣中间罐(5)的底部设置有出料管，所述出料管的末端连接有收集体(7)，所述出料管上设置有残渣出料泵(6)。
3.根据权利要求2所述的一种剥离液再生工艺段的光刻胶去除方法，其特征在于，所述残渣中间罐(5)设置有夹层结构，在夹层结构内设置有加热机构。
4.根据权利要求1所述的一种剥离液再生工艺段的光刻胶去除方法，其特征在于，所述薄膜蒸发器(4)内壁的表面粗糙度小于等于0.8。
5.根据权利要求1所述的一种剥离液再生工艺段的光刻胶去除方法，其特征在于，所述薄膜蒸发器(4)采用带有底轴承的结构。
6.根据权利要求1所述的一种剥离液再生工艺段的光刻胶去除方法，其特征在于，所述薄膜蒸发器(4)内的刮膜器采用刮块式刮膜器。
7.根据权利要求1-6任一项所述的一种剥离液再生工艺段的光刻胶去除方法，其特征在于，所述薄膜蒸发器(4)的工作压力为6KPa，温度为100℃。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川久远化工技术有限公司，未经四川久远化工技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810529444.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
