[发明专利]一种发光二极管芯片制造的光刻工艺中的显影装置有效
| 申请号： | 201810523409.X | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN108873625B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 黄杰 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 徐立 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种发光二极管芯片制造的光刻工艺中的显影装置，属于半导体技术领域。显影装置包括芯片装载容器、挂架和晃动机构，晃动机构包括第一气缸、第二气缸、第三气缸、第一平板和第二平板；第一平板和第二平板相对设置，第一气缸和第二气缸分别固定在第一平板和第二平板之间；第三气缸的活塞杆固定在第一平板上，第三气缸的缸体和第二平板分别位于第一平板的两侧，第三气缸位于第一气缸和第二气缸之间；芯片装载容器通过挂架固定在第二平板上，芯片装载容器和第一平板分别位于第二平板的两侧，挂架位于第一气缸和第二气缸之间。本发明显影充分，提升了芯片的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 发光二极管 芯片 制造 光刻 工艺 中的 显影 装置 | ||
【主权项】：
1.一种发光二极管芯片制造的光刻工艺中的显影装置，其特征在于，所述显影装置包括芯片装载容器(10)、挂架(20)和晃动机构(30)，所述晃动机构(30)包括第一气缸(31)、第二气缸(32)、第三气缸(33)、第一平板(34)和第二平板(35)；所述第一平板(34)和所述第二平板(35)相对设置，所述第一气缸(31)的缸体(31a)和所述第二气缸(32)的缸体(32a)分别固定在所述第一平板(34)上，所述第一气缸(31)的活塞杆(31b)和所述第二气缸(32)的活塞杆(32b)分别固定在所述第二平板(35)上；所述第三气缸(33)的活塞杆(33b)固定在所述第一平板(34)上，所述第三气缸(33)的缸体(33a)和所述第二平板(35)分别位于所述第一平板(34)的两侧，所述第一平板(34)与所述第三气缸(33)的连接处位于所述第一平板(34)与所述第一气缸(31)的连接处和所述第一平板(34)与所述第二气缸(32)的连接处之间；所述芯片装载容器(10)通过所述挂架(20)固定在所述第二平板(35)上，所述芯片装载容器(10)和所述第一平板(34)分别位于所述第二平板(35)的两侧，所述第二平板(35)与所述挂架(20)的连接处位于所述第二平板(35)与所述第一气缸(31)的连接处和所述第二平板(35)与所述第二气缸(32)的连接处之间。
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