[发明专利]一种掩膜板的制备方法、制备装置及掩膜板有效
| 申请号： | 201810510800.6 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN108660415B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 赵蓉;张新建;张健;吕守华 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀技术领域，公开一种掩膜板的制备方法、制备装置及掩膜板；其中，掩膜板的制备方法，包括：将掩膜板框架放置于机台的承载面上；提供一按压机构，将所述按压机构的压合面与所述机台的承载面相对，并驱动所述按压机构朝向所述承载面的方向按压。上述掩膜板制备方法中，采用了按压机构对承载面上的掩膜板框架进行按压，可以保证掩膜板框架的平整度、避免掩膜板框架发生褶皱，进而可以保证掩膜板的质量，从而提高蒸镀效果和蒸镀产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板的制备方法，其特征在于，包括：将掩膜板框架放置于机台的承载面上；提供一按压机构，将所述按压机构的压合面与所述机台的承载面相对，并驱动所述按压机构朝向所述承载面的方向按压。
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