[发明专利]一种掩膜板的制备方法、制备装置及掩膜板

说明书

本发明涉及蒸镀技术领域，公开一种掩膜板的制备方法、制备装置及掩膜板；其中，掩膜板的制备方法，包括：将掩膜板框架放置于机台的承载面上；提供一按压机构，将所述按压机构的压合面与所述机台的承载面相对，并驱动所述按压机构朝向所述承载面的方向按压。上述掩膜板制备方法中，采用了按压机构对承载面上的掩膜板框架进行按压，可以保证掩膜板框架的平整度、避免掩膜板框架发生褶皱，进而可以保证掩膜板的质量，从而提高蒸镀效果和蒸镀产品的良率。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种掩膜板的制备方法、制备装置及掩膜板。

背景技术

有机电致发光显示器(OLED显示器)具有轻薄、低功耗、高对比度、高色域、可以实现柔性显示等优点，是下一代显示器的发展趋势。OLED显示包括主动矩阵有机发光二极管显示(AMOLED)和被动矩阵有机发光二极管显示(PMOLED)两种，其中，AMOLED显示的实现方式有低温多晶硅背板(LTPS背板)+精细金属掩膜(FMM)，和金属氧化物背板(Oxid背板)+白光OLED(WOLED)+彩膜，前者主要应用于小尺寸面板，对应手机和移动应用；后者主要应用于大尺寸面板，对应监视器(Monitor)和电视等应用。目前，LTPS背板+FMM的方式已经初步成熟，可以实现量产。

LTPS背板+精细金属掩膜板(FMM)的方式，是指通过蒸镀将OLED材料按照预定程序蒸镀到LTPS背板上，利用FMM上的图形，形成红绿蓝发光器件；在这个过程中，FMM的品质是影响蒸镀效果的重要因素之一，目前，普遍存在的问题是FMM易出现褶皱情况，从而导致蒸镀效果较差、蒸镀产品不良。

发明内容

本发明公开了一种掩膜板的制备方法、制备装置及掩膜板，用于提高掩膜板的质量、提高蒸镀产品良率。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种掩膜板的制备方法，包括：

将掩膜板框架放置于机台的承载面上；

提供一按压机构，将所述按压机构的压合面与所述机台的承载面相对，并驱动所述按压机构朝向所述承载面的方向按压。

上述掩膜板制备方法中，采用了按压机构对承载面上的掩膜板框架进行按压，可以保证掩膜板框架的平整度、避免掩膜板框架发生褶皱，进而可以保证掩膜板的质量，提高蒸镀效果和蒸镀产品的良率。

一种可选的实施方案中，所述机台内设有可伸出所述承载面的对位顶针；在驱动所述按压机构朝向所述承载面的方向按压之前，还包括：

驱动所述机台内的顶针伸出所述承载面、以与所述掩膜板框架上的对位孔对位匹配。

一种可选的实施方案中，所述机台的承载面内设有真空吸附孔；在驱动所述按压机构朝向所述承载面的方向按压之后，还包括：

开启所述机台上的真空吸附孔以将所述掩膜板框架吸附固定。

一种掩膜板，采用如上述任一技术方案所述的掩膜板制备方法制备。

本发明实施例提供的掩膜板，其掩膜板框架的平整度较高、没有褶皱，进而，该掩膜板的质量较高，从而可以提高蒸镀效果和蒸镀产品的良率。

一种掩膜板制备装置，包括：

机台，用于承载掩膜板框架；

按压机构，设有压合面；

驱动机构，用于驱动所述按压机构的压合面与所述机台的承载面相对，并驱动所述按压机构朝向所述承载面的方向按压。

上述掩膜板制备装置，设有按压机构和驱动机构，在驱动机构的驱动下，按压机构的压合面可以与机台的承载面相对、并对承载面上的掩膜板框架进行按压，从而可以避免掩膜板框架出现褶皱，进而保证掩膜板的质量，从而提高蒸镀效果和蒸镀产品的良率。