[发明专利]一种掩膜板的制备方法、制备装置及掩膜板

权利要求书

1.一种掩膜板的制备方法，其特征在于，包括：

将未固定金属遮罩的掩膜板框架放置于机台的承载面上；

提供一按压机构，将所述按压机构的压合面与所述机台的承载面相对，并驱动所述按压机构朝向所述承载面的方向按压，其中，所述压合面的延展尺寸不小于所述掩膜板框架的延展尺寸。

2.根据权利要求1所述的掩膜板的制备方法，其特征在于，所述机台内设有可伸出所述承载面的对位顶针；在驱动所述按压机构朝向所述承载面的方向按压之前，还包括：

驱动所述机台内的顶针伸出所述承载面、以与所述掩膜板框架上的对位孔对位匹配。

3.根据权利要求1或2所述的掩膜板的制备方法，其特征在于，所述机台的承载面内设有真空吸附孔；在驱动所述按压机构朝向所述承载面的方向按压之后，还包括：

开启所述机台上的真空吸附孔以将所述掩膜板框架吸附固定。

4.一种掩膜板，其特征在于，采用如权利要求1～3任一项所述的掩膜板制备方法制备。

5.一种掩膜板制备装置，其特征在于，包括：

机台，用于承载未固定金属遮罩的掩膜板框架；

按压机构，设有压合面，所述压合面的延展尺寸不小于所述掩膜板框架的延展尺寸；

驱动机构，用于驱动所述按压机构的压合面与所述机台的承载面相对，并驱动所述按压机构朝向所述承载面的方向按压。

6.根据权利要求5所述的掩膜板制备装置，其特征在于，所述机台内设有可伸出所述承载面的对位顶针，所述对位顶针用于与所述掩膜板框架的对位孔对位匹配。

7.根据权利要求5所述的掩膜板制备装置，其特征在于，所述机台的承载面内设有真空吸附孔。

8.根据权利要求5～7任一项所述的掩膜板制备装置，其特征在于，所述按压机构包括压板。

9.根据权利要求8所述的掩膜板制备装置，其特征在于，所述压板位于所述机台的旁侧，且所述压合面与所述承载面平行设置；

所述驱动机构，用于驱动所述压板升至第一高度且移动至所述机台上方、并沿垂直于所述承载面的方向降至第二高度。