[发明专利]一种TFT基板的制备方法、TFT基板及显示装置

摘要

本发明涉及显示技术领域，公开了一种TFT基板的制备方法、TFT基板及显示装置，该制备方法包括：在基底上形成金属导电膜层；在金属导电膜层上形成疏水绝缘膜层；在疏水绝缘膜层上涂覆光刻胶涂层，并采用曝光工艺对光刻胶涂层进行图案化处理以形成图案化的光刻胶层；对疏水绝缘膜层进行刻蚀以形成图案化的疏水绝缘层；采用铜刻蚀液对金属导电膜层进行刻蚀以形成图案化的金属电极层。上述制备方法中，在金属导电膜层上形成有疏水绝缘膜层，光刻胶涂层与疏水绝缘膜层之间黏附性较好，在后续金属导电膜层刻蚀时，避免了刻蚀液横向钻刻而造成光刻胶层脱落，进而有利于提高TFT基板的制备良率。

主权项

1.一种TFT基板的制备方法，其特征在于，包括：在基底上形成金属导电膜层；在所述金属导电膜层上形成疏水绝缘膜层；在所述疏水绝缘膜层上涂覆光刻胶涂层，并采用曝光工艺对所述光刻胶涂层进行图案化处理以形成图案化的光刻胶层；对所述疏水绝缘膜层进行刻蚀以形成图案化的疏水绝缘层；采用碱性刻蚀液对所述金属导电膜层进行刻蚀以形成图案化的金属电极层。