[发明专利]一种提高聚丙烯薄膜的散热方法有效
申请号: | 201810508834.1 | 申请日: | 2018-05-24 |
公开(公告)号: | CN108831744B | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 杜伯学;许然然;李进;侯兆豪;韩晨磊;王明洋 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | H01G4/18 | 分类号: | H01G4/18;H01G2/08 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 刘子文 |
地址: | 300072*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: |
本发明公开了一种提高聚丙烯薄膜的散热方法,包括以下步骤:1.将聚丙烯薄膜试样用无水乙醇擦拭干净并放入烘干箱并烘干2小时;2.打开溅射腔室,将聚丙烯薄膜试样固定在转盘上,在射频靶头上安装99.99%纯度的圆形氮化硼靶材,氮化硼靶材绑定有2mm的铜背靶;将氮化硼靶材调整至聚丙烯薄膜试样正上方的位置,关闭溅射腔室;3.向溅射腔室充入N |
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搜索关键词: | 一种 提高 聚丙烯 薄膜 散热 方法 | ||
【主权项】:
1.一种提高聚丙烯薄膜的散热方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将聚丙烯薄膜试样用无水乙醇擦拭干净并放入烘干箱并烘干2小时;(2)打开溅射腔室,将聚丙烯薄膜试样固定在转盘上,在射频靶头上安装99.99%纯度的圆形氮化硼靶材,氮化硼靶材的直径为60mm,厚度为3mm,氮化硼靶材绑定有2mm的铜背靶;将氮化硼靶材调整至聚丙烯薄膜试样正上方的位置,关闭溅射腔室;(3)向溅射腔室充入N2气,将溅射腔室的真空度抽至10‑3Pa以下;充入Ar气,溅射腔室真空度为10‑3Pa;打开射频电源,调节溅射功率70W,对聚丙烯薄膜试样分别溅射30min、60min时间;(4)溅射完成后,向溅射腔室内充入空气,使溅射腔室内的气压与大气压相同,打开腔室取出聚丙烯薄膜试样。
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