[发明专利]一种加热装置及一种真空镀膜系统在审
| 申请号： | 201810486342.7 | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN108342691A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 郑文岸;张光海;李哲峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市原速光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/50;C23C16/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜系统的加热装置，该加热装置安装在真空镀膜系统中用于加热基材，包括设计用于加热基材的加热元件、与加热元件电连接并用于向加热元件提供电能的电源供应元件和将电源供应元件连接到加热元件的连接件，该连接件密封于真空镀膜系统的真空腔内，并且包括用于减少热量传导的隔热元件。本发明还公开了一种包含了上述加热装置的真空镀膜系统。本发明可以有效地解决现有的真空镀膜系统的加热温度受限的问题，能够在较大温度范围内实现真空镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜系统 加热元件 加热装置 电源供应元件 加热基材 连接件 加热装置安装 隔热元件 热量传导 温度受限 真空镀膜 电连接 有效地 真空腔 加热 密封 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜系统的加热装置，其特征在于，安装在真空镀膜系统中用于加热基材，且包括：设计用于加热基材的加热元件；与所述加热元件电连接并用于向加热元件提供电能的电源供应元件；将所述电源供应元件连接到所述加热元件的连接件，据此所述连接件密封于所述真空镀膜系统的真空腔内，并且据此所述连接件包括用于减少热量传导的隔热元件。
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