[发明专利]一种加热装置及一种真空镀膜系统在审
| 申请号： | 201810486342.7 | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN108342691A | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 郑文岸;张光海;李哲峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市原速光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/50;C23C16/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜系统 加热元件 加热装置 电源供应元件 加热基材 连接件 加热装置安装 隔热元件 热量传导 温度受限 真空镀膜 电连接 有效地 真空腔 加热 密封 | ||
1.一种真空镀膜系统的加热装置，其特征在于，安装在真空镀膜系统中用于加热基材，且包括：
设计用于加热基材的加热元件；
与所述加热元件电连接并用于向加热元件提供电能的电源供应元件；
将所述电源供应元件连接到所述加热元件的连接件，
据此所述连接件密封于所述真空镀膜系统的真空腔内，并且据此所述连接件包括用于减少热量传导的隔热元件。
2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述连接件还包括：
用于承载所述隔热元件的隔热元件放置台，据此所述隔热元件放置台与所述真空腔密封连接。
3.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热元件被所述隔热元件至少部分覆盖。
4.根据权利要求1-3之一所述的加热装置，其特征在于，还包括：
与所述加热元件连接的基材放置台，用以承载基材；
与所述基材放置台连接的温控元件，用以监测基材放置台的温度。
5.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述隔热元件放置台与所述真空腔通过真空法兰元件和密封件连接；所述隔热元件放置台设有冷却装置。
6.根据权利要求4所述的加热装置，其特征在于，所述基材放置台上设有与所述加热元件相配合的加热元件容纳腔。
7.根据权利要求6所述的加热装置，其特征在于，所述基材放置台与所述隔热元件放置台一体成型。
8.根据权利要求7所述的加热装置，其特征在于，所述基材放置台与所述隔热元件放置台通过焊接的方式连接。
9.根据权利要求1-8之一所述的加热装置，其特征在于，所述加热元件为环形电阻丝；
所述基材放置台的材质为铝合金或不锈钢；
所述隔热元件放置台的材质为铝合金或不锈钢。
10.一种真空镀膜系统，包括真空腔，以及如权利要求1-9之一所述的加热装置，所述加热装置位于所述真空腔上，所述隔热元件放置台与所述真空腔密封连接。
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