[发明专利]平衡静电力的方法和静电卡盘有效
| 申请号： | 201810455618.5 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN110491819B | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 师帅涛 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平衡静电力的方法和静电卡盘。该方法包括：获取晶片与所述第一电极相对应位置处的第一压力信号，以及获取晶片与所述第二电极相对应位置处的第二压力信号；将所述第一压力信号转换为第一电信号，以及将所述第二压力信号转换为第二电信号；根据所述第一电信号和所述第二电信号，调整直流电源输出至所述第一电极和所述第二电极上的直流电压，以使两个电极产生的静电力相等。能够有效提高平衡静电力的平衡精度，有效保护晶片，提高晶片加工良率。 | ||
| 搜索关键词： | 平衡 静电力 方法 静电 卡盘 | ||
【主权项】：
1.一种平衡静电力的方法，其特征在于，包括：/nS110、获取晶片与第一电极相对应位置处的第一压力信号，以及获取所述晶片与第二电极相对应位置处的第二压力信号；/nS120、将所述第一压力信号转换为第一电信号，以及将所述第二压力信号转换为第二电信号；/nS130、根据所述第一电信号和所述第二电信号，调整直流电源输出至所述第一电极和所述第二电极上的直流电压，以使两个电极产生的静电力相等。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
