[发明专利]一种调整检测传感器位置的工具及调整方法

摘要

本发明包括一种调整检测传感器位置的工具及调整方法，适用于检测工艺机台中检测传感器检测晶圆的厚度与位置的过程中，检测传感器包括光线发射端与光线接收端，包括：支架固定于检测工艺机台上，支架包括匚形部，匚形部就有上部横梁、下部横梁以及垂直连杆；固定标尺，垂直于上部横梁且垂直于垂直连杆的连接于上部横梁上；游动标尺，垂直于上部横梁且垂直于垂直连杆的连接于上部横梁上，并与固定标尺位于上部横梁同侧；固定标尺设置有供光线由固定标尺背向游动标尺一侧射向游动标尺的第一缝隙。有益效果在于：能够快速准确地调整检测传感器的光线发射端与光线接收端的水平与垂直位置，且一次性调整完成，操作简便，有效提高工作效率与质量。

主权项

1.一种调整检测传感器位置的工具，适用于检测工艺机台中检测传感器检测晶圆的厚度与位置的过程中，所述检测传感器包括光线发射端与光线接收端，其特征在于，所述工具包括：一支架，固定于所述检测工艺机台上，所述支架包括一匚形部，所述匚形部就有一上部横梁、一下部横梁以及一垂直连杆；一固定标尺，垂直于所述上部横梁且垂直于所述垂直连杆的连接于所述上部横梁上；一游动标尺，垂直于所述上部横梁且垂直于所述垂直连杆的连接于所述上部横梁上，并与所述固定标尺位于所述上部横梁同侧；所述固定标尺设置有供光线由所述固定标尺背向所述游动标尺一侧射向所述游动标尺的第一缝隙。