[发明专利]一种调整检测传感器位置的工具及调整方法

说明书

本发明包括一种调整检测传感器位置的工具及调整方法，适用于检测工艺机台中检测传感器检测晶圆的厚度与位置的过程中，检测传感器包括光线发射端与光线接收端，包括：支架固定于检测工艺机台上，支架包括匚形部，匚形部就有上部横梁、下部横梁以及垂直连杆；固定标尺，垂直于上部横梁且垂直于垂直连杆的连接于上部横梁上；游动标尺，垂直于上部横梁且垂直于垂直连杆的连接于上部横梁上，并与固定标尺位于上部横梁同侧；固定标尺设置有供光线由固定标尺背向游动标尺一侧射向游动标尺的第一缝隙。有益效果在于：能够快速准确地调整检测传感器的光线发射端与光线接收端的水平与垂直位置，且一次性调整完成，操作简便，有效提高工作效率与质量。

技术领域

本发明涉及传感器检测技术领域，尤其涉及一种调整检测传感器位置的工具及调整方法。

背景技术

在半导体技术领域中，检测工艺机台都是利用红外对射传感器进行检测晶圆盒里的晶圆状态，其中晶圆状态包括检测晶圆的厚度和位置；因检测工艺机台长时间的机械传动，气缸磨损等原因造成检测传感器的检测手臂的位置偏移，因而引起检测传感器检测晶圆的厚度异常或者位置异常，我们需要调整其检测传感器的探头与相对的机台的水平位置和垂直位置。

目前的调整方式是使用直角尺来量取两探头相对于机台的高度，因基准水平面的参考位置不一致，量测的数据有偏差，使得调整准确度不高，需要多次进行调整，降低了工作效率。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种调整检测传感器位置的工具及调整方法。

具体技术方案如下：

一种调整检测传感器位置的工具，适用于检测工艺机台中检测传感器检测晶圆的厚度与位置的过程中，所述检测传感器包括光线发射端与光线接收端，其中，所述工具包括：

一支架，固定于所述检测工艺机台上，所述支架包括一匚形部，所述匚形部就有一上部横梁、一下部横梁以及一垂直连杆；

一固定标尺，垂直于所述上部横梁且垂直于所述垂直连杆的连接于所述上部横梁上；

一游动标尺，垂直于所述上部横梁且垂直于所述垂直连杆的连接于所述上部横梁上，并与所述固定标尺位于所述上部横梁同侧；

所述固定标尺设置有供光线由所述固定标尺背向所述游动标尺一侧射向所述游动标尺的第一缝隙。

优选的，所述匚形部包括第一螺栓，所述第一螺栓设置于所述下部横梁悬空的一端，用以将所述支架固定于所述检测工艺机台上。

优选的，所述垂直连杆设置有伸缩组件，用以调整所述垂直连杆的长度。

优选的，所述伸缩组件包括：

一中空的固定杆，一端连接所述下部横梁，另一端设置有开口，

一活动杆，一端可滑动的套设于所述开口内，另一端连接所述上部横梁，

一第二螺栓，连接于所述开口内，用以限制所述活动杆滑动；或者

一中空的固定杆，一端连接所述上部横梁，另一端设置有开口，

一活动杆，一端可滑动的套设于所述开口内，另一端连接所述下部横梁，

一第二螺栓，连接于所述开口内，用以限制所述活动杆滑动。

优选的，所述固定标尺上及所述游动标尺上分别设有相互对应的刻度。

优选的，所述游动标尺上设有可沿所述游动标尺长度方向滑动的游标，用以连接所述光线接收端。

优选的，所述游动标尺设置有供所述游标滑动的第二缝隙，所述游标嵌设于所述第二缝隙内并以所述第二缝隙为轨道沿所述游动标尺长度方向滑动。

优选的，所述支架由不锈钢材料制成。