[发明专利]一种调整检测传感器位置的工具及调整方法有效

专利信息
申请号: 201810450534.2 申请日: 2018-05-11
公开(公告)号: CN108955545B 公开(公告)日: 2020-08-25
发明(设计)人: 管武能 申请(专利权)人: 武汉新芯集成电路制造有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06;G01B11/00
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 俞涤炯
地址: 430205 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 调整 检测 传感器 位置 工具 方法
【权利要求书】:

1.一种调整检测传感器位置的工具,适用于检测工艺机台中检测传感器检测晶圆的厚度与位置的过程中,所述检测传感器包括光线发射端与光线接收端,其特征在于,所述工具包括:

一支架,固定于所述检测工艺机台上,所述支架包括一匚形部,所述匚形部就有一上部横梁、一下部横梁以及一垂直连杆;

一固定标尺,垂直于所述上部横梁且垂直于所述垂直连杆的连接于所述上部横梁上;

一游动标尺,垂直于所述上部横梁且垂直于所述垂直连杆的连接于所述上部横梁上,并与所述固定标尺位于所述上部横梁同侧;

所述固定标尺设置有供光线由所述固定标尺背向所述游动标尺一侧射向所述游动标尺的第一缝隙;

所述游动标尺上设有可沿所述游动标尺长度方向滑动的游标,用以连接所述光线接收端;

所述游动标尺设置有供所述游标滑动的第二缝隙,所述游标嵌设于所述第二缝隙内并以所述第二缝隙为轨道沿所述游动标尺长度方向滑动。

2.根据权利要求1所述的工具,其特征在于,所述匚形部包括第一螺栓,所述第一螺栓设置于所述下部横梁悬空的一端,用以将所述支架固定于所述检测工艺机台上。

3.根据权利要求1所述的工具,其特征在于,所述垂直连杆设置有伸缩组件,用以调整所述垂直连杆的长度。

4.根据权利要求3所述的工具,其特征在于,所述伸缩组件包括:

一中空的固定杆,一端连接所述下部横梁,另一端设置有开口,

一活动杆,一端可滑动的套设于所述开口内,另一端连接所述上部横梁,

一第二螺栓,连接于所述开口内,用以限制所述活动杆滑动;或者

一中空的固定杆,一端连接所述上部横梁,另一端设置有开口,

一活动杆,一端可滑动的套设于所述开口内,另一端连接所述下部横梁,

一第二螺栓,连接于所述开口内,用以限制所述活动杆滑动。

5.根据权利要求1所述的工具,其特征在于,所述固定标尺上及所述游动标尺上分别设有相互对应的刻度。

6.根据权利要求1所述的工具,其特征在于,所述支架由不锈钢材料制成。

7.一种调整检测传感器位置的调整方法,采用上述权利要求1-6中任意一项所述的工具,其特征在于,包括:

步骤S1、通过所述第一螺栓将所述支架固定于所述检测工艺机台;

步骤S2、调节所述垂直连杆的长度,以供所述光线发射端发射的光线射向所述固定标尺的第一缝隙,且对应指示第一刻度值;

步骤S3、于所述第二缝隙内,滑动所述游动标尺上的游标,以锁定所述光线接收端的位置,且对应指示第二刻度值。

8.根据权利要求7所述的调整方法,其特征在于,于所述步骤S3之后,判断所述第一刻度值与所述第二刻度值是否相同,

若相同,则停止滑动所述游动标尺上的游标,锁定所述光线接收端的位置;

若不同,则继续滑动所述游动标尺上的游标,直至所述第一刻度值与所述第二刻度值相同,然后锁定所述光线接收端的位置。

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