[发明专利]一种蚀刻补偿装置在审
| 申请号： | 201810440648.9 | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN110468414A | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 谢南海;杨小冬;李延奇 | 申请（专利权）人： | 广东达源设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;H05K3/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市东莞松*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蚀刻补偿装置，包括蚀刻补偿装置主体、喷管、喷嘴和控制阀门，所述蚀刻补偿装置主体的内部安装有喷管，且喷管外表面上设置有喷嘴，所述喷管的上端连接有控制阀门。本发明的有益效果是：该蚀刻补偿装置，这个系统在工作方向垂直方向上安装了一些喷管，每一根喷管可以各自的控制阀门控制开关，而且每一根喷管安装了不同数量的喷嘴，喷嘴的形状安排成一个三角形，正常情况下按照以下排列：第一根喷管安装了9个喷嘴，第二根喷管安装了8个喷嘴，第三根喷管安装了7个喷嘴，如此类推，直到最后一根喷管安装个1喷嘴为止，由于可以选择每一个喷管的开、关，在板面上的“铜山”可以被一层一层的除掉，从而蚀刻效果更佳。 | ||
| 搜索关键词： | 喷管 喷嘴 蚀刻补偿 控制阀门 装置主体 方向垂直方向 蚀刻 内部安装 上端 除掉 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻补偿装置，包括蚀刻补偿装置主体（1）、喷管（2）、喷嘴（3）和控制阀门（4），其特征在于：所述蚀刻补偿装置主体（1）的内部安装有喷管（2），且喷管（2）外表面上设置有喷嘴（3），所述喷管（2）的上端连接有控制阀门（4）。/n
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