[发明专利]一种蚀刻补偿装置

说明书

本发明涉及一种蚀刻补偿装置，包括蚀刻补偿装置主体、喷管、喷嘴和控制阀门，所述蚀刻补偿装置主体的内部安装有喷管，且喷管外表面上设置有喷嘴，所述喷管的上端连接有控制阀门。本发明的有益效果是：该蚀刻补偿装置，这个系统在工作方向垂直方向上安装了一些喷管，每一根喷管可以各自的控制阀门控制开关，而且每一根喷管安装了不同数量的喷嘴，喷嘴的形状安排成一个三角形，正常情况下按照以下排列：第一根喷管安装了9个喷嘴，第二根喷管安装了8个喷嘴，第三根喷管安装了7个喷嘴，如此类推，直到最后一根喷管安装个1喷嘴为止，由于可以选择每一个喷管的开、关，在板面上的“铜山”可以被一层一层的除掉，从而蚀刻效果更佳。

技术领域

本发明涉及蚀刻补偿技术领域，具体为一种蚀刻补偿装置。

背景技术

当蚀刻喷淋到上板面的时候，板边缘的药水流动要更快于板中间，这样导致了在上板面形成一种“魂凝”状态，形成水池效应，从而阻碍了喷淋和降低了蚀刻反映速度，导致在上板面形成一个“铜山”，为了得到更好的蚀刻质量，这些“铜山”应该要除去。

现有的蚀刻补偿装置的喷淋效果过差，不能达到完全去除“铜山”的效果，从而影响了蚀刻的效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蚀刻补偿装置，以解决上述背景技术中提出的蚀刻补偿装置的喷淋效果过差，不能达到完全去除“铜山”的效果，从而影响了蚀刻的效果的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种蚀刻补偿装置，包括蚀刻补偿装置主体、喷管、喷嘴和控制阀门，所述蚀刻补偿装置主体的内部安装有喷管，且喷管外表面上设置有喷嘴，所述喷管的上端连接有控制阀门。

优选的，所述喷管设置有14个，且喷管与喷嘴为连通结构。

优选的，所述最左侧的喷管上设置有9个喷嘴，第8根喷管上设置有2个喷嘴，并且第9、10和11根喷管上喷嘴的数量可根据具体情况来定。

优选的，所述控制阀门为气动隔膜阀，且其材质为耐腐蚀的工程塑料。

优选的，所述喷嘴的孔径为1-2mm，且喷嘴竖直方向等间距分布。

优选的，所述喷嘴构成“V”字型结构，且喷嘴和喷管为拆卸结构，喷管与蚀刻补偿装置主体为拆卸结构。

优选的，所述喷管呈上下分布，上方的喷管设置有10个，下方的喷管设置有4个。

优选的，所述喷管的开、关选择可以在PLC控制的PC上进行设定，喷管与PC之间为电性连接，通过传感器来感应，从而控制喷管的开启。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该蚀刻补偿装置，设计了一个特殊的喷淋系统，这个系统在工作方向垂直方向上安装了一些喷管，每一根喷管可以各自的控制阀门控制开关，而且每一根喷管安装了不同数量的喷嘴，喷嘴的形状安排成一个三角形，正常情况下按照以下排列：第一根喷管安装了9个喷嘴，第二根喷管安装了8个喷嘴，第三根喷管安装了7个喷嘴，如此类推，直到最后一根喷管安装1个喷嘴为止，由于可以选择每一个喷管的开、关，在板面上的“铜山”可以被一层一层的除掉，从而蚀刻效果更佳。

附图说明

图1为本发明一种蚀刻补偿装置的结构示意图。

图中：1、蚀刻补偿装置主体，2、喷管，3、喷嘴，4、控制阀门。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。