[发明专利]一种蚀刻补偿装置

权利要求书

1.一种蚀刻补偿装置，包括蚀刻补偿装置主体（1）、喷管（2）、喷嘴（3）和控制阀门（4），其特征在于：所述蚀刻补偿装置主体（1）的内部安装有喷管（2），且喷管（2）外表面上设置有喷嘴（3），所述喷管（2）的上端连接有控制阀门（4）。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻补偿装置，其特征在于：所述喷管（2）设置有14个，且喷管（2）与喷嘴（3）为连通结构。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻补偿装置，其特征在于：所述最左侧的喷管（2）上设置有9个喷嘴（3），第8根喷管（2）上设置有2个喷嘴（3），并且第9、10和11根喷管（2）上喷嘴（3）的数量可根据具体情况来定。

4.根据权利要求1所述的一种蚀刻补偿装置，其特征在于：所述控制阀门（4）为气动隔膜阀，且其材质为耐腐蚀的工程塑料。

5.根据权利要求1所述的一种蚀刻补偿装置，其特征在于：所述喷嘴（3）的孔径为1-2mm，且喷嘴（3）竖直方向等间距分布。

6.根据权利要求1所述的一种蚀刻补偿装置，其特征在于：所述喷嘴（3）构成“V”字型结构，且喷嘴（3）和喷管（2）为拆卸结构，喷管（2）与蚀刻补偿装置主体（1）为拆卸结构。

7.根据权利要求1所述的一种蚀刻补偿装置，其特征在于：所述喷管（2）呈上下分布，上方的喷管（2）设置有10个，下方的喷管（2）设置有4个。

8.根据权利要求1所述的一种蚀刻补偿装置，其特征在于：所述喷管（2）的开、关选择可以在PLC控制的PC上进行设定，喷管（2）与PC之间为电性连接，通过传感器来感应，从而控制喷管的开启。