[发明专利]通过薄层转移封装的电磁辐射探测器有效
| 申请号： | 201810411576.5 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN108982973B | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 帕特里克·勒迪克;让-雅克·约恩 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会 |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 张玮;姚开丽 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种通过薄层转移封装的电磁辐射探测器，该电磁辐射探测器包括：悬浮在衬底(101)之上的至少一个膜(108)；以及盖(110)，封闭包括该至少一个膜的密封腔体(115)。根据本发明：盖(110)的厚度(E)小于或等于10μm；盖至少支承在围绕膜的支撑壁(106)上；以及探测器具有在盖和支撑壁之间相互嵌套的第一金属密封层和第二金属密封层(112A、112B)，外围接合区(112C)在该第一金属密封层和第二金属密封层之间延伸。本发明还涉及制造这种探测器的方法。本发明提供一种使用薄盖的封装方案，其中膜不经受高温。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 薄层 转移 封装 电磁辐射 探测器 | ||
【主权项】：
1.电磁辐射探测器(100)，包括：‑悬浮在衬底(101)之上的至少一个膜(108)，所述至少一个膜被配置为吸收入射的电磁辐射并将所述电磁辐射转换为热量；以及‑盖(100)，所述盖在所述电磁辐射探测器的光谱灵敏度范围内是透明的，且封闭包含所述至少一个膜的密封腔体(115)；其特征在于：‑所述盖(110)的厚度(E)小于或等于10μm；‑所述盖被悬浮在所述衬底之上，至少支承在围绕所述膜的支撑壁(106)上；以及‑所述探测器(100)具有在所述盖和所述支撑壁之间相互嵌套的第一金属密封层和第二金属密封层(112A、112B)，外围接合区(112C)在所述第一金属密封层和所述第二金属密封层之间延伸。
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