[发明专利]用于微波真空电子器件的热子组件可靠性测试装置

摘要

本公开提供一种用于微波真空电子器件的热子组件可靠性测试装置，包括：管壳，其为管状结构；电极法兰组件，设置于管壳的一端，包括上法兰，以及M个电极，M≥2；排气法兰组件，设置于管壳另一端，包括下法兰，以及排气接口；密封圈，分别设置于所述上法兰与管壳之间，下法兰与管壳之间，以及连接件，设置于电极和被检测热子组件之间，用于导电和支撑固定被检测热子组件。多个上述测试装置，与阀门还有外接的真空泵机组共同构成热子组件可靠性测试系统，用来检测出性能优良的微波真空电子器件用热子组件，以缓解微波真空电子器件的热子组件在使用过程容易出现的由于热子短路或热子缺陷、热子焊接点不牢等因素造成的热子断路等问题。

主权项

1.一种用于微波真空电子器件的热子组件可靠性测试装置，包括：管壳(110)，其为管状结构；电极法兰组件(120)，设置于管壳(110)的一端，包括上法兰(121)，以及M个电极(122)，M≥2；排气法兰组件(130)，设置于管壳(110)另一端，包括下法兰(131)，以及排气接口(132)；以及密封圈(140)，分别设置于所述上法兰(121)与管壳(110)之间，下法兰(131)与管壳(110)之间。