[发明专利]用于微波真空电子器件的热子组件可靠性测试装置在审
| 申请号： | 201810376884.9 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108562847A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 刘燕文;田宏;李芬;石文奇;朱虹;谷兵 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热子组件 微波真空电子器件 管壳 热子 可靠性测试装置 上法兰 下法兰 电极 检测 密封圈 可靠性测试系统 真空泵机组 测试装置 电极法兰 管状结构 排气法兰 排气接口 支撑固定 焊接点 连接件 短路 断路 导电 阀门 外接 缓解 | ||
1.一种用于微波真空电子器件的热子组件可靠性测试装置，包括：
管壳(110)，其为管状结构；
电极法兰组件(120)，设置于管壳(110)的一端，包括上法兰(121)，以及M个电极(122)，M≥2；
排气法兰组件(130)，设置于管壳(110)另一端，包括下法兰(131)，以及排气接口(132)；以及
密封圈(140)，分别设置于所述上法兰(121)与管壳(110)之间，下法兰(131)与管壳(110)之间。
2.根据权利要求1所述的热子组件可靠性测试装置，其中，还包括连接件(150)，设置于电极(122)和被检测热子组件之间，用于导电和支撑固定被检测热子组件。
3.根据权利要求1所述的热子组件可靠性测试装置，其中，上法兰(121)和下法兰(131)由金属材料制备而成，所述金属材料包括：不锈钢、可伐、蒙乃尔。
4.根据权利要求1所述的热子组件可靠性测试装置，其中，所述电极(122)与上法兰(121)焊接方式固定，处于管壳(110)外一端与外接电源相连，处于管壳(110)内的一端与被检测的热子组件的引脚通过连接件(150)电连接。
5.根据权利要求1所述的热子组件可靠性测试装置，其中，所述电极(122)表面与上法兰(121)接触的地方为陶瓷材质，其与上法兰(121)通过金属-陶瓷焊接方式焊接。
6.根据权利要求1所述的热子组件可靠性测试装置，所述电极(122)与上法兰(121)的焊接为永久焊接。
7.根据权利要求1所述的热子组件可靠性测试装置，其中，所述管壳(110)的制备材料包括：不锈钢、不锈钢、可伐、蒙乃尔、石英、或玻璃。
8.根据权利要求2所述的热子组件可靠性测试装置，其中，所述连接件(150)的制备材料包括：镍杆或钼杆，与电极(122)和被检测热子组件通过电阻焊接技术焊接。
9.根据权利要求1所述的热子组件可靠性测试装置，其中，所述密封圈(140)包括超高真空氟橡胶密封圈或硅橡胶密封圈。
10.一种用于微波真空电子器件的热子组件可靠性测试系统，包括：
至少1个如权利要求1至9中任一项所述的热子组件可靠性测试装置；
至少1个阀门(200)，通过所述阀门(200)的通断，可以控制对任意一个或多个热子组件可靠性测试装置(100)进行抽真空工作；以及
真空泵技术组(300)：用于对所述热子组件可靠性测试装置抽真空。
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