[发明专利]靶材加工方法在审
| 申请号: | 201810366083.4 | 申请日: | 2018-04-23 |
| 公开(公告)号: | CN108543955A | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
| 发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;王学泽;魏小林 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号: | B23B1/00 | 分类号: | B23B1/00;B23B25/02;B23Q11/00 |
| 代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 梁斌 |
| 地址: | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本发明涉及机械加工技术领域,提供一种靶材加工方法。在该方法中,首先通过安装在车床上的第一加工刀片在靶材的溅射面上车削出螺纹,然后通过安装在车床上的第二加工刀片对螺纹进行粗车,以车削掉螺纹,最后通过安装在车床上的第三加工刀片对螺纹进行精车,以使溅射面被加工为平整表面。可见,在上述加工步骤中,由于首先在溅射面上车削产生了螺纹,在此基础上对溅射面进行进一步车削加工,废屑将被分割为多个小部分,从而可以解决靶材加工过程中因废屑不易断开而引起的缠屑的问题,避免废屑划伤靶材的溅射面,改善溅射面的加工质量。 | ||
| 搜索关键词: | 螺纹 车床 靶材加工 加工刀片 溅射面 车削 废屑 溅射 靶材 机械加工技术 车削加工 加工步骤 平整表面 粗车 断开 划伤 精车 加工 分割 | ||
【主权项】:
1.一种靶材加工方法,其特征在于,包括:通过安装在车床上的第一加工刀片在靶材的溅射面上车削出螺纹;通过安装在车床上的第二加工刀片对所述螺纹进行粗车,以车削掉所述螺纹;通过安装在车床上的第三加工刀片对所述螺纹进行精车,以使所述溅射面被加工为平整表面。
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