[发明专利]靶材加工方法

说明书

本发明涉及机械加工技术领域，提供一种靶材加工方法。在该方法中，首先通过安装在车床上的第一加工刀片在靶材的溅射面上车削出螺纹，然后通过安装在车床上的第二加工刀片对螺纹进行粗车，以车削掉螺纹，最后通过安装在车床上的第三加工刀片对螺纹进行精车，以使溅射面被加工为平整表面。可见，在上述加工步骤中，由于首先在溅射面上车削产生了螺纹，在此基础上对溅射面进行进一步车削加工，废屑将被分割为多个小部分，从而可以解决靶材加工过程中因废屑不易断开而引起的缠屑的问题，避免废屑划伤靶材的溅射面，改善溅射面的加工质量。

技术领域

本发明涉及机械加工领域，具体而言，涉及一种靶材加工方法。

背景技术

在靶材的加工过程中，靶材溅射面的光洁度是评价加工质量的重要指标，溅射面加工质量的优劣将直接影响靶材的建设性能，理想的溅射面为光洁的镜面。然而，对于以高纯度铝为材料的靶材，由于高纯度铝在车削过程中不易发生断屑，因此容易产生刀具缠屑的问题，大量的废屑缠绕在刀具上可能划伤靶材的溅射面，造成溅射面的光洁度下降，从而影响生产出来的靶材的溅射性能。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供一种靶材加工方法，以解决上述技术问题。

本发明的实施例通过以下技术方案实现：

第一方面，本发明实施例提供一种靶材加工方法，包括：

通过安装在车床上的第一加工刀片在靶材的溅射面上车削出螺纹；

通过安装在车床上的第二加工刀片对螺纹进行粗车，以车削掉螺纹；

通过安装在车床上的第三加工刀片对螺纹进行精车，以使溅射面被加工为平整表面。

可见，在上述加工步骤中，由于首先在溅射面上车削产生了螺纹，相当于将溅射面预先分割为多个等间隔的小区域，在此基础上对溅射面进行进一步车削加工，废屑也将被分割为多个小部分，从而可以解决废屑缠屑的问题，避免废屑划伤靶材的溅射面，进而改善溅射面光洁度，提高靶材的加工质量。

结合第一方面，在第一方面的第一种可能的实施方式中，靶材的材料为高纯度铝，高纯度铝的纯度为99％至99.9999％，高纯度铝在车削过程中不易发生断屑，因此容易产生刀具缠屑的问题，因此在加工高纯度铝制成的靶材时十分适宜采用本发明实施例提供的靶材加工方法。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，在第一方面的第二种可能的实施方式中，通过安装在车床上的第一加工刀片在靶材的溅射面上车削出螺纹，包括：

通过第一加工刀片从溅射面的圆心向外车削出螺纹，螺纹以溅射面的圆心为中心在溅射面上呈环状分布，呈环状分布的螺纹不具有特定的方向性。

从而可以保证在后续对溅射面车削时，刀具沿任意方向进行车削都不会产生缠屑问题。

结合第一方面的第二种可能的实施方式，在第一方面的第三种可能的实施方式中，第二加工刀片一侧设置有喷气管，通过第二加工刀片对螺纹进行粗车，包括：

通过第二加工刀片对螺纹进行粗车，并在车削过程中通过喷气管向第二加工刀片与溅射面的接触位置喷气。

通过喷气，可以将车削过程中产生的废屑及时吹走，避免划伤溅射面。

结合第一方面的第三种可能的实施方式，在第一方面的第四种可能的实施方式中，第二加工刀片一侧还设置有输液管，通过第二加工刀片对螺纹进行粗车，并在车削过程中通过喷气管向第二加工刀片与溅射面的接触位置喷气，包括：

通过第二加工刀片对螺纹进行粗车，并在车削过程中通过输液管输入挥发性液体，以及通过喷气管向第二加工刀片与溅射面的接触位置喷气，以使挥发性液体被喷洒在第二加工刀片与溅射面的接触位置。