[发明专利]靶材加工方法

权利要求书

1.一种靶材加工方法，其特征在于，包括：

通过安装在车床上的第一加工刀片在靶材的溅射面上车削出螺纹；

通过安装在车床上的第二加工刀片对所述螺纹进行粗车，以车削掉所述螺纹；

通过安装在车床上的第三加工刀片对所述螺纹进行精车，以使所述溅射面被加工为平整表面。

2.根据权利要求1所述的靶材加工方法，其特征在于，所述靶材的材料为高纯度铝，所述高纯度铝的纯度为99％至99.9999％。

3.根据权利要求2所述的靶材加工方法，其特征在于，所述通过安装在车床上的第一加工刀片在靶材的溅射面上车削出螺纹，包括：

通过所述第一加工刀片从所述溅射面的圆心向外车削出所述螺纹，所述螺纹以所述溅射面的圆心为中心在所述溅射面上呈环状分布。

4.根据权利要求3所述的靶材加工方法，其特征在于，所述第二加工刀片一侧设置有喷气管，所述通过安装在车床上的第二加工刀片对所述螺纹进行粗车，包括：

通过所述第二加工刀片对所述螺纹进行粗车，并在车削过程中通过所述喷气管向所述第二加工刀片与所述溅射面的接触位置喷气。

5.根据权利要求4所述的靶材加工方法，其特征在于，所述第二加工刀片一侧还设置有输液管，所述通过所述第二加工刀片对所述螺纹进行粗车，并在车削过程中通过所述喷气管向所述第二加工刀片与所述溅射面的接触位置喷气，包括：

通过所述第二加工刀片对所述螺纹进行粗车，并在车削过程中通过所述输液管输入挥发性液体，以及通过所述喷气管向所述第二加工刀片与所述溅射面的接触位置喷气，以使所述挥发性液体被喷洒在所述第二加工刀片与所述溅射面的接触位置。

6.根据权利要求5所述的靶材加工方法，其特征在于，所述挥发性液体为酒精。

7.根据权利要求1所述的靶材加工方法，其特征在于，所述通过安装在车床上的第一加工刀片在靶材的溅射面上车削出螺纹，包括：

通过所述第一加工刀片对所述靶材的溅射面进行三次粗车，以车削出所述螺纹。

8.根据权利要求1－7中任一权项所述的靶材加工方法，其特征在于，所述通过安装在车床上的第三加工刀片对所述螺纹进行精车，以使所述溅射面被加工为平整表面之后，所述方法还包括：

对所述溅射面进行清洁，以使所述溅射面的光洁度达到镜面标准。

9.根据权利要求8所述的靶材加工方法，其特征在于，所述对所述溅射面进行清洁，包括：

通过净化布擦拭所述溅射面。

10.根据权利要求8所述的靶材加工方法，其特征在于，所述第一加工刀片为硬质螺纹刀片，所述第二加工刀片以及所述第三加工刀片均为金刚石刀片。