[发明专利]一种测试多元合金中不同相组成微区成分的定量分析方法

摘要

本发明属于金属材料检测技术领域，涉及一种测试多元合金中不同相组成微区成分的定量分析方法。本发明在多元合金的金属块状试样上，结合蒙特卡洛模拟评估电子与多元合金金属的相互作用区域、对扫描电镜中能谱样品进行精细制备、控制微区能谱测试方法及进行后期数据处理，获得多元合金金属材料中不同相组成的较高精度微区成分测试结果。该方法的优势在于：使用扫描电镜中的能谱进行测试相比于其它测试手段更加方便和低成本，通过前期蒙特卡洛模拟、待测样品精细化制备、能谱测试参数设定以及后期数据处理修正可以明显提升微区成分的测试精度，并且对于多相组成的多元合金，这种测试方法具有普遍适用性。

主权项

1.一种测试多元合金中不同相组成微区成分的定量分析方法，其特征在于包括以下步骤：1)使用蒙特卡洛模拟评估能谱装置测试定量分析过程中入射电子与多元合金金属矩形块状样品的相互作用空间分布；2)对多元合金的金属矩形块状试样X、Y和Z面分别进行微观组织样品制备，测量多元合金中不同相的三维微观组织空间分布和尺寸特征；3)确定最佳测试面和最佳测试区域，选择待测试相尺寸相对较大的方向作为电镜中的电子入射方向，测试相的尺寸相对较大的方向的垂面作为最佳测试面，在最佳测试面上选取大于蒙特卡洛模拟中相互作用区域X和Y方向尺寸的区域作为最佳测试区域；4)使用扫描电镜中的能谱装置进行一般方法的能谱测试分析；5)对相同样品中相同区域进行不同工作距离条件下的能谱测试，绘制待测合金元素在不同工作距离条件下的特征曲线；6)在测试不满足标准工作距离样品的能谱结果时，根据实际工作距离，使用待测合金元素线性特征曲线向标准工作距离进行数据修正，获得标准工作距离下的能谱结果修正值；7)对同一待测位置或类似区域进行5次以上能谱测试，统计能谱测试结果的平均值和误差，获得多元合金金属材料中不同相组成微区成分的测试结果。