[发明专利]一种键合焊头的清洗方法、清洗支架及清洗装置

摘要

本申请公开了一种键合焊头的清洗方法、清洗支架及清洗装置，其中，清洗方法为：将键合焊头的头部朝下垂直放置于清洗支架中，清洗支架放置于盛放有清洗液的清洗容器中，键合焊头的头部浸入清洗液内，并通过位于清洗容器底部的超声波发震源向键合焊头传导超声波，进行超声波清洗。由于键合焊头的头部朝下浸入清洗液中，因此，所需的清洗液不需要没过整个键合焊头，只需要没过键合焊头的头部，因此，节省了成本，且键合焊头的头部朝下放置，因此，键合焊头的头部更加靠近超声波发震源，超声波能量在传导过程中损失较少，不需要延长清洗时间或者加大超声波功率，不会造成效率损失，同样能够达到较好的清洗效果。

主权项

1.一种键合焊头的清洗方法，其特征在于，将键合焊头(4)的头部朝下放置于清洗支架(1)中，清洗支架(1)放置于盛放有清洗液(6)的清洗容器(3)中，所述键合焊头(4)的头部浸入所述清洗液(6)内，并通过位于所述清洗容器(3)底部的超声波发震源向所述键合焊头(3)传导超声波，进行超声波清洗。