[发明专利]真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法

摘要

本发明涉及一种真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法。真空泵装置具备主泵和增压泵。主泵和增压泵分别具备进气口和排气口。主泵的进气口与增压泵的排气口连通。开关接受用于使主泵启动的启动指示。在开关接受启动指示而主泵启动时，基于启动指示来判定是否启动增压泵，进而启动增压泵。由此，能够提供一种与以往相比小型并且低成本的真空泵。

主权项

1.一种真空泵装置，具备主泵和增压泵，所述真空泵装置的特征在于，各所述泵具备进气口和排气口，所述主泵的进气口与所述增压泵的排气口连通，所述增压泵的进气口是所述真空泵装置的进气侧，主泵的排气口是所述真空泵装置的排气侧，所述真空泵装置具备：指示接受部，该指示接受部接受用于使所述主泵启动的启动指示或者用于使所述主泵停止的停止指示，并且输出开关信号；主泵逆变器，该主泵逆变器接受被输出的所述开关信号而使所述主泵启动或者停止，并且输出用于指示所述增压泵的启动/停止的启动/停止信号；以及增压泵逆变器，该增压泵逆变器对从所述主泵逆变器输出的启动/停止信号进行检测而使所述增压泵启动或者停止。