[发明专利]真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法

权利要求书

1.一种真空泵装置，具备主泵和增压泵，所述真空泵装置的特征在于，

所述主泵和所述增压泵分别具备进气口和排气口，所述主泵的进气口与所述增压泵的排气口连通，所述增压泵的进气口是所述真空泵装置的进气侧，主泵的排气口是所述真空泵装置的排气侧，

所述真空泵装置具备：

指示接受部，该指示接受部接受用于使所述主泵启动的启动指示或者用于使所述主泵停止的停止指示，并且输出开关信号；

主泵逆变器，该主泵逆变器接受被输出的所述开关信号而使所述主泵启动或者停止，并且输出用于指示所述增压泵的启动/停止的启动/停止信号；以及

增压泵逆变器，该增压泵逆变器对从所述主泵逆变器输出的启动/停止信号进行检测而使所述增压泵启动或者停止。

2.根据权利要求1所述的真空泵装置，其特征在于，

所述主泵逆变器构成为：能够在所述主泵启动之后输出用于指示所述增压泵的启动的启动信号，所述增压泵逆变器构成为：基于从所述主泵逆变器输出的所述启动信号来判定是否启动所述增压泵，进而启动所述增压泵。

3.根据权利要求1所述的真空泵装置，其特征在于，

在所述指示接受部接受了所述启动指示时，所述增压泵逆变器判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。

4.根据权利要求1所述的真空泵装置，其特征在于，

在所述指示接受部接受了所述启动指示之后，并且经过了规定时间时，所述增压泵逆变器判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。

5.根据权利要求4所述的真空泵装置，其特征在于，

在所述指示接受部接受了所述启动指示之后，并且经过所述规定时间且所述主泵的转速为规定数以上时，所述增压泵逆变器判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。

6.根据权利要求5所述的真空泵装置，其特征在于，

在所述指示接受部接受了所述启动指示之后，并且经过所述规定时间且所述主泵的转速为规定数以上，并且驱动所述主泵的马达的电流值为规定值以下时，所述增压泵逆变器判定为能够启动所述增压泵，并且启动所述增压泵。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的真空泵装置，其特征在于，

所述真空泵装置具备增压泵停止部，在所述指示接受部接受所述停止指示而所述主泵停止时，该增压泵停止部基于所述停止指示来判定是否停止所述增压泵，并且停止所述增压泵。

8.根据权利要求1或2所述的真空泵装置，其特征在于，

所述真空泵装置具备：

增压泵异常检测部，该增压泵异常检测部对所述增压泵的异常进行检测；以及

增压泵异常时停止部，在所述增压泵异常检测部检测到所述增压泵的异常时，该增压泵异常时停止部使所述增压泵停止，而不使所述主泵停止。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的真空泵装置，其特征在于，

所述真空泵装置具备：

主泵异常检测部，该主泵异常检测部对所述主泵的异常进行检测；以及

异常时停止部，在所述主泵异常检测部检测到所述主泵的异常时，该异常时停止部停止所述主泵和所述增压泵。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的真空泵装置，其特征在于，

所述真空泵装置具备信号输入部，从外部向该信号输入部输入用于控制所述主泵及/或所述增压泵的转速的信号。

11.一种用于真空泵装置的运转控制方法，该真空泵装置具备主泵和增压泵，所述运转控制方法的特征在于，

所述主泵和所述增压泵分别具备进气口和排气口，所述主泵的进气口与所述增压泵的排气口连通，所述增压泵的进气口是所述真空泵装置的进气侧，主泵的排气口是所述真空泵装置的排气侧，

所述运转控制方法具备：

接受用于使所述主泵启动的启动指示的步骤；以及

在接受所述启动指示而使所述主泵启动时，基于所述启动指示来判定是否启动所述增压泵，将用于使所述增压泵启动的信号经由信号线从主泵逆变器输出到增压泵逆变器，进而启动所述增压泵的步骤。