[发明专利]真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法

说明书

本发明涉及一种真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法。真空泵装置具备主泵和增压泵。主泵和增压泵分别具备进气口和排气口。主泵的进气口与增压泵的排气口连通。开关接受用于使主泵启动的启动指示。在开关接受启动指示而主泵启动时，基于启动指示来判定是否启动增压泵，进而启动增压泵。由此，能够提供一种与以往相比小型并且低成本的真空泵。

技术领域

本发明涉及一种具备主泵及增压泵的真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法。

背景技术

近年，能够在大气压下动作且容易得到干净的真空环境的干式真空泵作为半导体制造设备的组件或者作为液晶的制造设备等而被使用于广阔的领域。以往，在内置主泵(MP)和增压泵(BP)的干式真空泵的运转中，泵控制部、压力传感器、主泵逆变器以及增压泵逆变器被使用。并且，在增压泵的启动中，压力传感器是必要的。其理由如下。

主泵和增压泵分别具备进气口和排气口，主泵的进气口与增压泵的排气口连通。增压泵的进气口是真空泵装置的进气侧，主泵的排气口是真空泵装置的排气侧。在连接增压泵的排气口与主泵的进气口的配管配置有压力传感器。压力传感器对该配管内的压力进行检测。启动增压泵的时机为：泵控制部判断由压力传感器检测出的压力值是否适当，若适当，则泵控制部将启动信号输出到增压泵逆变器。

不同时启动主泵和增压泵的理由如下。因为对于增压泵来说，若增压泵与主泵之间的配管的压力未变为规定压力以下的真空，则增压泵的负载大，增压泵不能稳定地运转。因此，在通过主泵的运转而将主泵与增压泵之间的配管真空化之后启动增压泵。

干式真空泵的启动、停止以往如以下那样进行。通过使用者的启动开关的操作而启动主泵。泵控制部判断主泵与增压泵之间的配管的压力是否变为规定压力以下的真空。当判断为变为规定压力以下的真空时，泵控制部对增压泵逆变器发送指令而启动增压泵。

当通过使用者的停止开关的操作或者主泵内的警报发生而停止主泵时，泵控制部对增压泵逆变器发送指令而停止增压泵。另一方面，当通过增压泵内的警报发生而停止增压泵时，泵控制部判断是否停止主泵，在判断为不需要停止主泵时，主泵不停止。其理由如下。即使增压泵停止，但若主泵运转，则应该为真空的容器内的压力上升的速度被抑制。另外，也是因为在增压泵的停止是根据增压泵特有的理由而停止的情况下，主泵被认为是正常的。因此，是否使主泵的运转持续，依赖于真空系统的使用者或者设计者的设计思想。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4218756号

在以往的内置主泵和增压泵的干式真空泵中，为了适当地进行增压泵的启动，需要压力传感器和压力传感器的信号处理电路。因此，需要压力传感器用的设置空间，使真空泵大型化。另外，用于压力传感器和其信号处理电路的成本导致真空泵造价高。

发明内容

本发明的一个方式是为了消除这样的问题而完成的，其目的在于提供一种与以往相比更小型并且低成本的真空泵。

为了解决上述课题，在第一方式中采用如下结构的运转控制装置，该运转控制装置用于具备主泵和增压泵的真空泵装置，其特征在于，所述主泵和所述增压泵分别具备进气口和排气口，所述主泵的进气口与所述增压泵的排气口连通，所述增压泵的进气口是所述真空泵装置的进气侧，主泵的排气口是所述真空泵装置的排气侧，所述运转控制装置具备：启动指示接受部，该启动指示接受部接受用于使所述主泵启动的启动指示；以及增压泵启动部，该增压泵启动部在所述启动指示接受部接受所述启动指示而所述主泵启动时，基于所述启动指示来判定是否启动所述增压泵，进而启动所述增压泵。

在本实施方式中，没有压力传感器和压力传感器的信号处理电路，并且不使用压力传感器就能够启动主泵和增压泵。因此，在启动指示接受部接受启动指示而主泵启动时，增压泵启动部基于启动指示来判定是否启动增压泵，进而启动增压泵。由于没有压力传感器和压力传感器的信号处理电路，因此能够提供一种与以往相比小型并且低成本的真空泵。