[发明专利]一种硅片偏心测试用装卡机构有效
| 申请号: | 201810319582.8 | 申请日: | 2018-04-11 |
| 公开(公告)号: | CN110360977B | 公开(公告)日: | 2021-01-19 |
| 发明(设计)人: | 张心明;李俊烨;尚春民;刘建河;王德民;范景峰;周化文;修航 | 申请(专利权)人: | 长春理工大学 |
| 主分类号: | G01B21/24 | 分类号: | G01B21/24 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 130022 *** | 国省代码: | 吉林;22 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本发明公开了一种硅片偏心测试用装卡机构,包括底座,所述底座的前后端上表面固定连接有支撑板,所述支撑板的上端内侧表面通过螺纹连接有螺纹杆,所述螺纹杆的内侧表面设有放置槽,所述螺纹杆的放置槽处内侧表面固定连接有转轴,所述转轴的内侧表面固定连接有凸形圆杆,所述凸形圆杆的内侧表面通过滑槽滑动连接有挤压块,所述挤压块的内侧表面固定连接有第一弹簧,所述挤压块的内侧表面挤压有硅片,所述螺纹杆的外侧表面固定连接有第一转盘,所述第一转盘的外侧表面固定连接有工形圆柱把手,所述工形圆柱把手的外侧表面转动套接有圆管,该硅片偏心测试用装卡机构,方便固定硅片,使用方便,结构简单,操作方便。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 硅片 偏心 测试 用装卡 机构 | ||
【主权项】:
1.一种硅片偏心测试用装卡机构,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的前后端上表面固定连接有支撑板(38),所述支撑板(38)的上端内侧表面通过螺纹连接有螺纹杆(2),所述螺纹杆(2)的内侧表面设有放置槽(3),所述螺纹杆(2)的放置槽(3)处内侧表面固定连接有转轴(4),所述转轴(4)的内侧表面固定连接有凸形圆杆(5),所述凸形圆杆(5)的内侧表面通过滑槽(6)滑动连接有挤压块(8),所述挤压块(8)的内侧表面固定连接有第一弹簧(7),所述挤压块(8)的内侧表面挤压有硅片(9),所述螺纹杆(2)的外侧表面固定连接有第一转盘(10),所述第一转盘(10)的外侧表面固定连接有工形圆柱把手(11),所述工形圆柱把手(11)的外侧表面转动套接有圆管(12),所述底座(1)的后下端外侧表面固定连接有支撑座(13),所述底座(1)的后上端外侧表面固定连接有支撑块(14),所述支撑块(14)的内侧表面通过螺纹连接有转杆(15),所述转杆(15)的下表面通过第二转盘(16)固定连接有转动把手(17),所述转杆(15)的上表面通过转槽(18)转动连接在承接板(19)的下端外侧表面。所述前座套沿着U型管的延伸方向延伸,所述前座套的后端套设在所述后座的前端,所述后座的后端便拆式的设置有所述盖板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长春理工大学,未经长春理工大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810319582.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种多功能连杆综合测量仪
- 下一篇:基于直流的负载分布的电缆截面积计算方法





