[发明专利]一种硅片偏心测试用装卡机构

权利要求书

1.一种硅片偏心测试用装卡机构，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的前后端上表面固定连接有支撑板(38)，所述支撑板(38)的上端内侧表面通过螺纹连接有螺纹杆(2)，所述螺纹杆(2)的内侧表面设有放置槽(3)，所述螺纹杆(2)的放置槽(3)处内侧表面固定连接有转轴(4)，所述转轴(4)的内侧表面固定连接有凸形圆杆(5)，所述凸形圆杆(5)的内侧表面通过滑槽(6)滑动连接有挤压块(8)，所述挤压块(8)的内侧表面固定连接有第一弹簧(7)，所述挤压块(8)的内侧表面挤压有硅片(9)，所述螺纹杆(2)的外侧表面固定连接有第一转盘(10)，所述第一转盘(10)的外侧表面固定连接有工形圆柱把手(11)，所述工形圆柱把手(11)的外侧表面转动套接有圆管(12)，所述底座(1)的后下端外侧表面固定连接有支撑座(13)，所述底座(1)的后上端外侧表面固定连接有支撑块(14)，所述支撑块(14)的内侧表面通过螺纹连接有转杆(15)，所述转杆(15)的下表面通过第二转盘(16)固定连接有转动把手(17)，所述转杆(15)的上表面通过转槽(18)转动连接在承接板(19)的下端外侧表面；

所述承接板(19)的上表面通过电机(20)转动连接有转动杆(21)，所述承接板(19)的后端外侧表面固定连接有定位滑管(23)，所述定位滑管(23)的内侧表面滑动连接在定位杆(22)的外侧表面，所述定位杆(22)的下表面固定连接在支撑座(13)的后端上表面。

2.根据权利要求1所述的一种硅片偏心测试用装卡机构，其特征在于：所述转动杆(21)的前端外侧表面滑动连接有套管(24)，所述套管(24)的外侧表面附有橡胶层(25)。

3.根据权利要求2所述的一种硅片偏心测试用装卡机构，其特征在于：所述套管(24)的外侧表面通过橡胶层(25)紧贴在硅片(9)的外侧表面。

4.根据权利要求2所述的一种硅片偏心测试用装卡机构，其特征在于：所述套管(24)的内侧表面通过限位槽(26)滑动连接有第二弹簧(27)和圆形卡头(28)，所述圆形卡头(28)的外侧表面通过圆孔(29)滑动连接在套管(24)的上下端内侧表面。

5.根据权利要求2所述的一种硅片偏心测试用装卡机构，其特征在于：所述转动杆(21)的前端内侧表面设有圆柱槽(30)，所述转动杆(21)的后端外侧表面通过定位块(31)固定连接有第三弹簧(32)，所述第三弹簧(32)的前端外侧表面挤压在套管(24)的后端外侧表面。

6.根据权利要求1所述的一种硅片偏心测试用装卡机构，其特征在于：所述支撑板(38)的内侧表面固定连接有放置环(33)，所述放置环(33)的内侧表面滑动放置有圆柱形插销(34)，所述圆柱形插销(34)的上表面固定连接有拉环(35)。

7.根据权利要求6所述的一种硅片偏心测试用装卡机构，其特征在于：所述圆柱形插销(34)的外侧表面通过圆柱槽(30)滑动连接在转动杆(21)的前端内侧表面。

8.根据权利要求1所述的一种硅片偏心测试用装卡机构，其特征在于：所述凸形圆杆(5)的内侧表面固定连接有环形橡胶圈(36)，所述环形橡胶圈(36)的外侧表面挤压在硅片(9)的外侧表面，所述环形橡胶圈(36)的内侧表面设有环形圆孔(37)。