[发明专利]半导体8寸晶圆制造薄膜制程的TiN工艺的Ti材质零部件再生方法在审
| 申请号： | 201810306520.3 | 申请日： | 2018-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN108672352A | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 范银波 | 申请（专利权）人： | 苏州珮凯科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B7/00;B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 马广旭 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了半导体8寸晶圆制造薄膜制程的TiN工艺的Ti材质零部件再生方法，包括以下步骤：（1）、常压下，纯水或超纯水加热后，热水通入高压水泵，往Ti材质零部件表面各处喷射，水压不小于85bar；（2）、用热风烘干Ti材质零部件；（3）、常压下，随着自然冷却的进行，使用干冰喷射机，往Ti材质零部件各处高速喷射干冰颗粒，射速870~1000m/s；（4）、干冰喷射结束后，自然回温至室温，再冲洗。本发明的步骤简明扼要，但处理效果神奇，能够在较短时间内得到极佳的杂质脱落清洗效果，并且水冲压力和干冰骤冷均在钛材承受范围内，使得钛材质光电零部件的再生变得简单易行。 | ||
| 搜索关键词： | 零部件 干冰喷射 再生 常压 晶圆 制程 薄膜 半导体 零部件表面 干冰颗粒 高速喷射 高压水泵 清洗效果 热风烘干 超纯水 钛材质 水压 干冰 回温 水冲 骤冷 钛材 冲洗 加热 喷射 制造 | ||
【主权项】：
1.半导体8寸晶圆制造薄膜制程的TiN工艺的Ti材质零部件再生方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）、常压下，纯水或超纯水加热到75~95℃，将热水通入高压水泵，高压水泵连接喷嘴，热水通过喷嘴往Ti材质零部件表面各处喷射，水压不小于85bar，处理20~35min；（2）、用热风烘干Ti材质零部件，热风温度不高于100℃；（3）、常压下，随着自然冷却的进行，使用干冰喷射机，往Ti材质零部件各处高速喷射干冰颗粒，射速870~1000m/s，处理时间至少为10min；（4）、干冰喷射结束后，自然回温至室温，再用常温的超纯水洗或者空气冲洗Ti材质零部件表面，带走脱落的杂质。
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