[发明专利]散热装置、半导体生产系统及散热风扇的故障监测方法有效
| 申请号： | 201810297111.1 | 申请日： | 2018-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN110345096B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种散热装置，包括散热风扇及电流监测模块；散热风扇包括电机；电流监测模块具有输入端及输出端，其中，电流监测模块的输入端与电机相连接，用以监测电机的感应电流。本发明还提供一种半导体生产系统，包括半导体生产设备、供电装置及散热装置，其中，供电装置与半导体生产设备相连接；散热装置包括散热风扇及电流监测模块，且散热风扇位于供电装置内，用于给供电装置散热，散热风扇包括电机；电流监测模块具有输入端及输出端，电流监测模块的输入端与电机相连接，用以监测电机的感应电流。本发明结构简单，使用方便，成本低廉，能为半导体厂的安全生产提供保障；本发明的散热风扇的故障监测方法简单易行，具有极大的推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 散热 装置 半导体 生产 系统 风扇 故障 监测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种散热装置，其特征在于，包括：散热风扇，包括电机；及，电流监测模块，具有输入端及输出端，其中，所述电流监测模块的输入端与所述电机相连接，用以监测所述电机的感应电流，所述电流监测模块的输出端用于输出监测到的所述感应电流。
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