[发明专利]散热装置、半导体生产系统及散热风扇的故障监测方法

权利要求书

1.一种散热装置，其特征在于，包括：

散热风扇，包括电机；及，

电流监测模块，具有输入端及输出端，其中，所述电流监测模块的输入端与所述电机相连接，用以监测所述电机的感应电流的大小，所述电流监测模块的输出端用于输出监测到的所述感应电流；

模数转换器，所述模数转换器的输入端与所述电流监测模块的输出端相连接，用以将所述电流监测模块监测到的所述感应电流转换成数字信号，所述模数转换器的输出端用于输出转换的所述数字信号；

传输模块，所述传输模块的输入端与所述模数转换器的输出端相连接，用以传输所述模数转换器转换的数字信号，所述传输模块的输出端用于输出所述数字信号；

报警模块，所述报警模块的一端与所述传输模块的输出端相连接，用以在所述电机的感应电流异常时发出报警信息的同时发出紧急停机信号，所述报警模块具有通信模块；

延时模块，所述延时模块与所述报警模块相连接且所述延时模块与一半导体生产设备相连接，用于在所述半导体生产设备处于执行工艺操作时拦截所述紧急停机信号，并所述延时模块与连接至所述半导体生产设备的供电装置相连接且所述延时模块与所述半导体生产设备相连接，用于在所述半导体生产设备结束工艺操作时将所述紧急停机信号发送至所述供电装置，由所述供电装置控制所述半导体生产设备停机。

2.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于：所述电流监测模块包括电流传感器。

3.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于：所述传输模块包括电缆。

4.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于：所述传输模块包括光电转换器及光纤，所述光电转换器的一端与所述模数转换器的输出端相连接，所述光电转换器的另一端与所述光纤相连接；其中，所述光电转换器与所述模数转换器的输出端相连接的一端为所述传输模块的输入端，所述光纤远离所述光电转换器的一端为所述传输模块的输出端。

5.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于：所述散热装置还包括显示模块，所述显示模块与所述传输模块的输出端相连接。

6.一种半导体生产系统，其特征在于，包括：

半导体生产设备；

供电装置，所述供电装置与所述半导体生产设备相连接；

散热装置，包括散热风扇及电流监测模块，其中，所述散热风扇位于所述供电装置内，用于给所述供电装置散热，所述散热风扇包括电机；所述电流监测模块具有输入端及输出端，所述电流监测模块的输入端与所述电机相连接，用以监测所述电机的感应电流的大小，所述电流监测模块的输出端用于输出监测到的所述感应电流；

模数转换器，所述模数转换器的输入端与所述电流监测模块的输出端相连接，用以将所述电流监测模块监测到的所述感应电流转换成数字信号，所述模数转换器的输出端用于输出转换的所述数字信号；

传输模块，所述传输模块的输入端与所述模数转换器的输出端相连接，用以传输所述模数转换器转换的所述数字信号，所述传输模块的输出端用于输出所述数字信号；

报警模块，所述报警模块的一端与所述传输模块的输出端相连接，用以在所述电机的感应电流异常时发出报警信息的同时发出紧急停机信号，所述报警模块具有通信模块；

延时模块，所述延时模块与所述报警模块相连接且所述延时模块与一半导体生产设备相连接，用于在所述半导体生产设备处于执行工艺操作时拦截所述紧急停机信号，并所述延时模块与连接至所述半导体生产设备的供电装置相连接且所述延时模块与所述半导体生产设备相连接，用于在所述半导体生产设备结束工艺操作时将所述紧急停机信号发送至所述供电装置，由所述供电装置控制所述半导体生产设备停机。

7.根据权利要求6所述的半导体生产系统，其特征在于：所述电流监测模块包括电流传感器。

8.根据权利要求6所述的半导体生产系统，其特征在于：所述传输模块包括电缆。