[发明专利]散热装置、半导体生产系统及散热风扇的故障监测方法

说明书

本发明提供一种散热装置，包括散热风扇及电流监测模块；散热风扇包括电机；电流监测模块具有输入端及输出端，其中，电流监测模块的输入端与电机相连接，用以监测电机的感应电流。本发明还提供一种半导体生产系统，包括半导体生产设备、供电装置及散热装置，其中，供电装置与半导体生产设备相连接；散热装置包括散热风扇及电流监测模块，且散热风扇位于供电装置内，用于给供电装置散热，散热风扇包括电机；电流监测模块具有输入端及输出端，电流监测模块的输入端与电机相连接，用以监测电机的感应电流。本发明结构简单，使用方便，成本低廉，能为半导体厂的安全生产提供保障；本发明的散热风扇的故障监测方法简单易行，具有极大的推广价值。

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，特别是涉及一种散热装置、半导体生产系统及散热风扇的故障监测方法。

背景技术

对工业设备，尤其是像半导体生产设备这种365天长年处于每天24小时运转的大型功率设备而言，散热是非常重要的课题，尤其是在设备的电源供应端，基本都要安装散热装置以对供电装置进行散热。因为电能在传输过程中不可避免地会发生损失，损失的电能一般会以热量的形成向外散发；此外，供电装置一般是由成百上千个电阻及电容等电子元器件构成的，这些电子元器件处于工作状态时也会产生热量，这些热量如果不及时散发出去，就会造成整个供电装置的温度上升，且供电装置的供电功率越大，产生的热量越多。高温不仅影响电子元器件工作时的精确度和稳定度，还可能改变各种电子元器件的电阻值、电容值及电感值等，严重时甚至造成电子元器件的损坏，从而导致供电装置工作异常或不工作，更严重时还可能引发火灾，造成重大生产事故。

在半导体生产厂，如果因供电装置的散热出现故障引发生产事故，那损失可能更严重。因为半导体生产设备属于高精密度设备，其供电装置也是极其昂贵的，而如果供电装置发生故障时，半导体生产设备正处于工艺生产的状态，那极有可能导致当前的晶圆报废造成损失，并由于当前晶圆报废引发后续的连锁反应，导致整个生产系统的异常。

为及时给供电装置散热，在供电装置端一般会安装散热风扇以将供电装置产生的热量及时排出。但散热风扇亦可能因长期处于高负荷工作状态下而发生故障，一旦散热风扇出现故障，热量无法散发，供电装置的故障风险会急剧增大。因此实时监控散热风扇的工作状态，以在散热风扇发生故障时尽快做出对应措施非常重要。但实际生产中，能够对散热风扇进行监控的技术手段非常少，检索到的一些专利中，都是通过监控散热风扇两端的电压情况来判断散热风扇是否处于正常工作状态。但这样的监控手段存在不少问题，比如因为散热风扇两端的电压相对较大，在设置监测电路时一般需要设置保护电路，导致整个监测电路非常复杂，而监测电路中的电阻和电容等电子元器件也可能发生故障导致新的事故；此外，散热风扇在发生故障时，其两端的电压可能突然增大，突然增大的电压超出监测电路的负载，可能引发监测电路的烧毁乃至引发火灾事故，造成无法挽回的损失。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种散热装置、半导体生产系统及散热风扇的故障监测方法，用于解决现有技术中因缺乏对散热风扇的实时监控，导致在散热风扇发生故障时无法及时发现，引发严重的生产事故或是由于监测电路过于复杂而可能引发二次风险等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种散热装置，所述散热装置包括散热风扇及电流监测模块；所述散热风扇包括电机；所述电流监测模块具有输入端及输出端，其中，所述电流监测模块的输入端与所述电机相连接，用以监测所述电机的感应电流，所述电流监测模块的输出端用于输出监测到的所述感应电流。

优选地，所述电流监测模块包括电流传感器。

优选地，所述散热装置还包括模数转换器及传输模块；所述模数转换器的输入端与所述电流监测模块的输出端相连接，用以将所述电流监测模块监测到的所述感应电流转换成数字信号，所述模数转换器的输出端用于输出转换的所述数字信号；所述传输模块的输入端与所述模数转换器的输出端相连接，用以传输所述模数转换器转换的所述数字信号，所述传输模块的输出端用于输出所述数字信号。