[发明专利]具有可变空气递送的空气轴承在审
| 申请号： | 201810295233.7 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108691895A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | M.兰马克;S.斯特劳斯;W.斯特劳斯;R.科赫;C.波格利奇;H.霍夫曼;N.泽勒 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;G01B21/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 提出了一种可移动地支承至少两个元件的空气轴承(120)。空气轴承(120)包括具有至少一个第一空气流出通道(130)和至少一个第二空气流出通道(132)的至少一个轴承主体(128)。第一空气流出通道(130)可经由至少一个第一空气递送装置(134)被供给空气。第二空气流出通道(132)可经由至少一个第二空气递送装置(136)供给由空气。 | ||
| 搜索关键词： | 空气流出通道 空气轴承 递送装置 可移动地支承 供给空气 可变空气 轴承主体 递送 | ||
【主权项】：
1.一种空气轴承(120)，所述空气轴承(120)可移动地支承至少两个元件，其中该空气轴承(120)包括至少一个轴承主体(128)，所述至少一个轴承主体(128)具有至少一个第一空气流出通道(130)和至少一个第二空气流出通道(132)，其中该第一空气流出通道(130)可经由至少一个第一空气递送装置(134)被供给空气，其中该第二空气流出通道(132)可经由至少一个第二空气递送装置(136)被供给空气。
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