[发明专利]具有可变空气递送的空气轴承

说明书

提出了一种可移动地支承至少两个元件的空气轴承(120)。空气轴承(120)包括具有至少一个第一空气流出通道(130)和至少一个第二空气流出通道(132)的至少一个轴承主体(128)。第一空气流出通道(130)可经由至少一个第一空气递送装置(134)被供给空气。第二空气流出通道(132)可经由至少一个第二空气递送装置(136)供给由空气。

技术领域

本发明涉及空气轴承，特别是用于坐标测量机的空气轴承以及坐标测量机。

背景技术

由现有技术已知用于引导机床或测量机的各种流体压力轴承，测量机例如为用于测量工件的坐标测量机。用空气轴承引导期间，相互可移动的元件(例如在三维空间中移动坐标测量机的传感器的两个部件)安装为由气隙彼此分开。通过将空气递送到空气轴承中的空气静力轴承是已知的。

这样的解决方案可使工件的测量得到精确的测量结果。空气轴承可通过近似无摩擦和高刚度而促使高精度和超高精度引导。空气轴承可配置为补偿短周期或局部发生的引导误差，从而，与诸如滚筒轴承的其他类型的轴承相比，可实现更加均匀的运行。

原则上，已经知晓了性能参数不同的各种类型的空气轴承，性能参数例如为空气消耗量、轴承振动和取决于施加的力的升起行为。根据作为相应的用途(例如不同的载荷情景)的函数的单独性能参数的权重，空气轴承类型可能是有利的或不利的。因此，在采用空气轴承形式时，在不同的载荷情景下，可能存在刚度不足或甚至空气轴承的失效。

发明内容

因此，本发明的目标是提供至少实质上避免已知系统缺点的空气轴承和坐标测量机。特别地，允许适合于载荷情景的刚度。

这样的目标通过直线导轨和具有独立权利要求的特征的坐标测量机而实现。可单独或组合实现的优选方案呈现在从属权利要求中。

在下文，术语“展现”、“具有”、“包括”或“包含”或从其而来的任何语法偏差以非排他方式使用。相应地，这些术语可以指除了由这些术语引入的特征外不存在其他特征的情形，或者存在一个或多个其他特征的情形。例如，语句A展现B、A具有B、A包括B或A包含B可能是指如下两种情形，A中没有提供除了B外的其他元件(就是说，A排他地由B组成)的情况，以及A中提供除了B外一个或多个其他元件(例如元件C、元件C和D、或甚至其他元件)的情况。

此外，应指出的是，术语“至少一个”和“一个或多个”以及这些术语或类似术语的语法修改，如果它们与一个或多个元件或特征结合使用且旨在表达该元件或特征可提供单个或多个的情况，则通常仅用一次，例如在特征或元件第一次引入时。当随后再一次提及该特征或元件时，对应的术语“至少一个”或“一个或多个”通常不再使用，而不限制该特征或元件可提供一个或多个的可能性。

此外，在下文，与可选的特征结合使用了术语“优选地”、“特别是”、“作为示例”或类似的术语，而不由此限制替代实施例。就此而言，由这些术语引入的特征是可选的特征，而不意图由这些特征限制权利要求的保护范围，特别是独立权利要求的保护范围。就此而言，本领域的技术人员将认识到，本发明也可采用那个其他的配置来实施。类似地，“本发明的一个实施例中”或“本发明的一个示例性实施例中”引入的特征应理解为可选的特征，而这不意图限制替代改进或独立权利要求的保护范围。此外，这些介绍性表达引入的特征与其他特征结合的全部可能性，无论是可选的特征或非可选的特征，都旨在保持不受所述介绍性表达的影响。

在本发明的第一方面中，提出了用于可移动地支承至少两个元件的空气轴承。空气轴承可理解为一种引导元件，其原则上为任何所希望的形状且配置为借助于空气(特别是压缩空气)来相对于第二元件(例如，坐标测量机的第二部件，例如板状基座体)移动第一元件(例如，坐标测量机的部件，特别是坐标测量机的门架和/或门架的柱)。气隙可布置在第一元件和第二元件之间。例如，第一元件可设在空气轴承上，并且气隙可布置在空气轴承和第二元件之间。