[发明专利]具有可变空气递送的空气轴承

权利要求书

1.一种空气轴承(120)，所述空气轴承(120)可移动地支承至少两个元件，其中该空气轴承(120)包括至少一个轴承主体(128)，所述至少一个轴承主体(128)具有至少一个第一空气流出通道(130)和至少一个第二空气流出通道(132)，其中该第一空气流出通道(130)可经由至少一个第一空气递送装置(134)被供给空气，其中该第二空气流出通道(132)可经由至少一个第二空气递送装置(136)被供给空气。

2.根据权利要求1所述的空气轴承(120)，其中该第一空气流出通道(130)和该第二空气流出通道(132)设计为彼此流体上分开。

3.根据权利要求2所述的空气轴承(120)，其中该第一空气流出通道(130)和该第二空气流出通道(132)可彼此分开地被供给空气。

4.根据前述权利要求之一所述的空气轴承(120)，其中该空气轴承(120)具有至少一个空气递送孔(138)，其中该第一空气流出通道(130)和/或该第二空气流出通道(132)可经由该空气递送孔(138)被供给空气。

5.根据前述权利要求之一所述的空气轴承(120)，其中该空气轴承(120)具有多个空气流出通道。

6.根据前述权利要求之一所述的空气轴承(120)，其中该第一空气流出通道(130)布置在该轴承主体(128)的至少第一区域中，并且该第二空气流出通道(132)布置在该轴承主体(128)的至少第二区域中。

7.根据前述权利要求之一所述的空气轴承(120)，其中该空气轴承(120)具有至少一个阀(146)，所述阀(146)用于控制去往该第一空气流出通道(130)和/或该第二空气流出通道(132)的空气的供给。

8.根据前述权利要求之一所述的空气轴承(120)，其中该空气轴承(120)具有至少一个控制器(148)，所述控制器(148)配置为调整去往该第一空气流出通道(130)和/或该第二空气流出通道(132)的空气的供给。

9.根据前述权利要求所述的空气轴承(120)，其中该空气轴承(120)具有至少一个传感器(150)，所述传感器(150)配置为检测轴承行程和/或轴承压力和/或轴承通流，其中该控制器(148)配置为根据所检测的轴承行程和/或轴承压力和/或轴承通流来调整去往该第一空气流出通道(130)和/或该第二空气流出通道(132)的空气的供给。

10.一种坐标测量机(110)，包括至少一个空气轴承(120)，其中该空气轴承(120)包括至少一个轴承主体(128)，所述至少一个轴承主体(128)具有至少一个第一空气流出通道(130)和至少一个第二空气流出通道(132)，其中该第一空气流出通道(130)可经由至少一个第一空气递送装置(134)被供给空气，其中该第二空气流出通道(132)可经由至少一个第二空气递送装置(136)被供给空气。

11.根据权利要求10所述的坐标测量机(110)，其中根据权利要求1-9之一来设计该空气轴承(120)。

12.根据权利要求10或11的坐标测量机(110)，其中该坐标测量机(110)具有至少一个载体装置和至少一个测量系统，其中该测量系统和/或该载体装置借助于该空气轴承可移动地安装。

13.一种操作空气轴承(120)的方法，其中该方法包括如下步骤：

-经由至少一个第一空气递送装置(134)将空气供给到该空气轴承(120)的至少一个第一空气流出通道(130)；

-经由至少一个第二空气递送装置(136)将空气供给到该空气轴承(120)的至少一个第二空气流出通道(132)。