[发明专利]片状晶圆加工用的磨盘及专用磨床有效
| 申请号： | 201810294070.0 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN108436682B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 韩赛 | 申请（专利权）人： | 李德良 |
| 主分类号： | B24B19/22 | 分类号： | B24B19/22;B24B41/04;B24B41/06;B24B57/02 |
| 代理公司： | 合肥超通知识产权代理事务所(普通合伙) 34136 | 代理人： | 龚存云 |
| 地址： | 235300 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种专用于片状晶圆减薄加工的磨床，包括机床载台，所述机床载台上可拆卸的安装有一用于装夹产品的载具，载具上方设有磨盘，所述磨盘包括本体，所述本体下端面设有安装槽，安装槽内设有子磨块，所述本体的下端面上沿安装槽的周向均匀分布有多个供液槽，用于容置砂浆，所述供液槽的槽内壁中位于本体转动方向的相反方向所对应的内侧壁与本体的下端面之间通过一圆弧面过渡连接，所述磨盘安装于机床主动轴上且随机床主动轴转动。本发明提供一种专用于片状晶圆减薄加工的磨床，其装夹过程简单可靠，由于装夹导致的碎片率低，而且磨盘的磨削精度好，磨盘与产品之间无直接硬接触，因此产品加工精度好、合格率高。 | ||
| 搜索关键词： | 片状 晶圆加 工用 磨盘 专用 磨床 | ||
【主权项】：
1.一种片状晶圆加工用的磨盘，其特征在于：包括圆盘状的本体(18)，所述本体(18)下端面的中心位置设有一安装槽(19)，安装槽(19)内设有子磨块(20)，所述本体(18)的下端面上沿安装槽(19)的周向均匀分布有多个供液槽(21)，用于容置砂浆，所述供液槽(21)的槽内壁中位于本体(18)转动方向的相反方向所对应的内侧壁与本体(18)的下端面之间通过一圆弧面(22)过渡连接。
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