[发明专利]探针检测系统及用于检测半导体元件的方法有效
| 申请号： | 201810224499.2 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN110286307B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 董兰生;张卓贤;朱南昌;游海洋 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本揭露实施例是关于探针检测系统及用于检测半导体元件的方法。根据一实施例的探针检测系统包括：探针；经配置以支撑探针的探针支撑件；经配置以连接探针支撑件的探针调整件；具有第一端及第二端的支架，其经配置以第一端枢接至探针调整件，其中第一端包含收纳第一枢轴的第一孔；经配置以枢接至支架的第二端的滑动件；及经配置以使滑动件延其长度方向作直线运动的电机。本揭露实施例提供的探针检测系统及用于检测半导体元件的方法可使探针旋转地靠近、接触及远离半导体元件的表面，在实现稳定地检测半导体元件性能的同时，避免对半导体元件的表面造成任何伤害。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 检测 系统 用于 半导体 元件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种探针检测系统，其包括：探针；探针支撑件，所述探针支撑件经配置以支撑所述探针；探针调整件，所述探针调整件经配置以连接所述探针支撑件；支架，具有第一端及第二端，所述支架经配置以所述第一端枢接至所述探针调整件，其中所述第一端包含第一孔，所述第一孔收纳第一枢轴；滑动件，所述滑动件经配置以枢接至所述支架的第二端；及电机，所述电机经配置以使所述滑动件延其长度方向作直线运动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810224499.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于GIS设备的高频局放测试方法
- 下一篇：一种压接型单芯片的测试装置
