[发明专利]一种抛光装置及抛光设备有效
申请号: | 201810222611.9 | 申请日: | 2018-03-16 |
公开(公告)号: | CN108381330B | 公开(公告)日: | 2019-09-06 |
发明(设计)人: | 侯晶;谢瑞清;陈贤华;李洁;廖德锋;钟波;邓文辉;田亮 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | B24B13/00 | 分类号: | B24B13/00;B24B13/005 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 符莹莹 |
地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供了一种抛光装置及抛光设备,属于抛光设备领域。抛光装置包括机架、抛光盘、第一驱动装置、支撑架、活动架、第二驱动装置和夹具,抛光盘可转动的设置于机架。第一驱动装置用于驱动抛光盘相对机架绕第一竖轴线转动。支撑架设于机架上。活动架与支撑架活动连接。第二驱动装置用于驱动活动架相对支撑架竖向移动。夹具可转动的设置于活动架,夹具能够相对活动架绕第二竖轴线转动,夹具位于抛光盘的上方。在抛光过程中,由于夹具与活动架转动连接,抛光盘在转动的同时将带动整个夹具转动,从而带动晶体转动,进而提高了对晶体的抛光效果。 | ||
搜索关键词: | 夹具 活动架 抛光盘 抛光设备 抛光装置 支撑架 转动 第二驱动装置 第一驱动装置 可转动 竖轴线 驱动 活动连接 夹具转动 晶体转动 抛光过程 抛光效果 竖向移动 相对活动 转动连接 晶体的 架设 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种抛光装置,其特征在于,包括:机架;抛光盘,所述抛光盘可转动的设置于所述机架;第一驱动装置,所述第一驱动装置用于驱动所述抛光盘相对所述机架绕第一竖轴线转动;支撑架,所述支撑架设于所述机架上;活动架,所述活动架与所述支撑架活动连接;第二驱动装置,所述第二驱动装置用于驱动所述活动架相对所述支撑架竖向移动;夹具,所述夹具可转动的设置于所述活动架,所述夹具能够相对所述活动架绕第二竖轴线转动,所述夹具位于所述抛光盘的上方;其中,所述夹具包括放置盘,所述放置盘上设有用于放置晶体的放置孔;所述夹具还包括夹具座和挤压件,所述夹具座可转动的设置于所述活动架;所述放置盘可移动的设置于所述夹具座上,所述放置盘能够相对所述夹具座竖向移动;所述挤压件设于所述夹具座,当所述放置盘向靠近所述夹具座的方向竖向移动时,所述挤压件能够挤压所述晶体。
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