[发明专利]一种抛光装置及抛光设备有效
| 申请号: | 201810222611.9 | 申请日: | 2018-03-16 |
| 公开(公告)号: | CN108381330B | 公开(公告)日: | 2019-09-06 |
| 发明(设计)人: | 侯晶;谢瑞清;陈贤华;李洁;廖德锋;钟波;邓文辉;田亮 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号: | B24B13/00 | 分类号: | B24B13/00;B24B13/005 |
| 代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 符莹莹 |
| 地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 夹具 活动架 抛光盘 抛光设备 抛光装置 支撑架 转动 第二驱动装置 第一驱动装置 可转动 竖轴线 驱动 活动连接 夹具转动 晶体转动 抛光过程 抛光效果 竖向移动 相对活动 转动连接 晶体的 架设 支撑 | ||
本发明提供了一种抛光装置及抛光设备,属于抛光设备领域。抛光装置包括机架、抛光盘、第一驱动装置、支撑架、活动架、第二驱动装置和夹具,抛光盘可转动的设置于机架。第一驱动装置用于驱动抛光盘相对机架绕第一竖轴线转动。支撑架设于机架上。活动架与支撑架活动连接。第二驱动装置用于驱动活动架相对支撑架竖向移动。夹具可转动的设置于活动架,夹具能够相对活动架绕第二竖轴线转动,夹具位于抛光盘的上方。在抛光过程中,由于夹具与活动架转动连接,抛光盘在转动的同时将带动整个夹具转动,从而带动晶体转动,进而提高了对晶体的抛光效果。
技术领域
本发明涉及抛光设备领域,具体而言,涉及一种抛光装置及抛光设备。
背景技术
高效率激光晶体LBO,YCOB等非先生光学晶体,时用于超短、超强激光器的关键非线性材料,该类晶体具有宽的透过范围,适中的非线性系数,高损伤阈值和良好的化学和机械特性,广泛应用于激光倍频以及光参量振荡器和光参量放大器等强激光领域。在对晶体的加工过程中,需要利用抛光装置对晶体进行抛光,现有的抛光装置一般仅依靠旋转的抛光盘对晶体进行抛光,抛光效果差。
发明内容
本发明的目的在于提供一种抛光装置,以改善现有抛光装置抛光效果差的问题。
本发明的目的在于提供一种抛光设备,以改善现有抛光装置抛光效果差的问题。
本发明是这样实现的:
基于上述第一目的,本发明提供一种抛光装置,包括:
机架;
抛光盘,所述抛光盘可转动的设置于所述机架;
第一驱动装置,所述第一驱动装置用于驱动所述抛光盘相对所述机架绕第一竖轴线转动;
支撑架,所述支撑架设于所述机架上;
活动架,所述活动架与所述支撑架活动连接;
第二驱动装置,所述第二驱动装置用于驱动所述活动架相对所述支撑架竖向移动;
夹具,所述夹具可转动的设置于所述活动架,所述夹具能够相对所述活动架绕第二竖轴线转动,所述夹具位于所述抛光盘的上方。
本发明优选实施例中,所述抛光装置还包括第三驱动装置;
所述支撑架与所述机架活动连接,所述第三驱动装置用于驱动所述支撑架相对所述机架移动,以使第二竖轴线沿所述抛光盘的径向移动。
本发明优选实施例中,所述夹具包括放置盘,所述放置盘上设有用于放置晶体的放置孔。
本发明优选实施例中,所述夹具还包括夹具座和挤压件,所述夹具座可转动的设置于所述活动架;
所述放置盘可移动的设置于所述夹具座上,所述放置盘能够相对所述夹具座竖向移动;
挤压件,所述挤压件设于所述夹具座,当所述放置盘向靠近所述夹具座的方向竖向移动时,所述挤压件能够挤压所述晶体。
本发明优选实施例中,所述挤压件包括固定体、活动体和弹性件;
所述固定体与所述夹具座连接,所述活动体可移动的设置于所述固定体,所述活动体能够相对所述固定体竖向移动;
所述弹性件设于所述活动体与所述固定体之间,所述弹性件具有推动所述活动体相对所述固定体竖向向下移动的趋势。
本发明优选实施例中,所述活动体包括用于挤压所述晶体的挤压体,所述挤压体位于所述放置孔内;
所述放置孔的孔壁上设有限位部,所述限位部位于所述挤压体竖向向上移动的轨迹上。
本发明优选实施例中,所述放置孔为上小下大的锥形结构。
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