[发明专利]一种抛光装置及抛光设备

权利要求书

1.一种抛光装置，其特征在于，包括：

机架；

抛光盘，所述抛光盘可转动的设置于所述机架；

第一驱动装置，所述第一驱动装置用于驱动所述抛光盘相对所述机架绕第一竖轴线转动；

支撑架，所述支撑架设于所述机架上；

活动架，所述活动架与所述支撑架活动连接；

第二驱动装置，所述第二驱动装置用于驱动所述活动架相对所述支撑架竖向移动；

夹具，所述夹具可转动的设置于所述活动架，所述夹具能够相对所述活动架绕第二竖轴线转动，所述夹具位于所述抛光盘的上方；

其中，所述夹具包括放置盘，所述放置盘上设有用于放置晶体的放置孔；

所述夹具还包括夹具座和挤压件，所述夹具座可转动的设置于所述活动架；

所述放置盘可移动的设置于所述夹具座上，所述放置盘能够相对所述夹具座竖向移动；

所述挤压件设于所述夹具座，当所述放置盘向靠近所述夹具座的方向竖向移动时，所述挤压件能够挤压所述晶体。

2.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述抛光装置还包括第三驱动装置；

所述支撑架与所述机架活动连接，所述第三驱动装置用于驱动所述支撑架相对所述机架移动，以使第二竖轴线沿所述抛光盘的径向移动。

3.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述挤压件包括固定体、活动体和弹性件；

所述固定体与所述夹具座连接，所述活动体可移动的设置于所述固定体，所述活动体能够相对所述固定体竖向移动；

所述弹性件设于所述活动体与所述固定体之间，所述弹性件具有推动所述活动体相对所述固定体竖向向下移动的趋势。

4.根据权利要求3所述的抛光装置，其特征在于，所述活动体包括用于挤压所述晶体的挤压体，所述挤压体位于所述放置孔内；

所述放置孔的孔壁上设有限位部，所述限位部位于所述挤压体竖向向上移动的轨迹上。

5.根据权利要求4所述的抛光装置，其特征在于，所述放置孔为上小下大的锥形结构。

6.根据权利要求4所述的抛光装置，其特征在于，所述活动体还包括杆体，所述固定体上设有导向孔，所述杆体的一端与所述挤压体连接，所述杆体的另一端延伸至所述导向孔内；

所述杆体上设有第一凸出部，所述导向孔的孔壁上设有第二凸出部，所述第二凸出部位于所述第一凸出部竖向向下移动的轨迹上。

7.根据权利要求1或3-6任一项所述的抛光装置，其特征在于，所述夹具还包括至少两个导向件，所述导向件为伸缩结构，所述导向件的一端与所述夹具座连接，所述导向件的另一端与所述放置盘连接。

8.一种抛光设备，其特征在于，包括抛光液供给装置和权利要求1-7任一项所述的抛光装置，所述抛光液供给装置用于为所述抛光盘提供抛光液。