[发明专利]液体去除装置及液体去除方法有效
| 申请号： | 201810190176.6 | 申请日： | 2018-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN108626970B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 冈田直忠 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | F26B3/00 | 分类号： | F26B3/00;F26B23/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘英华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 实施方式的液体去除装置，是能够对附着于部件的表面的液体照射激光而将所述液体去除的液体去除装置。所述液体去除装置具有：激光光源；以及能量控制构件，将从所述激光光源射出的激光分割为多个激光，在所述液体所附着的照射位置，将所分割出的所述多个激光的一部分重叠，从而能够使照射面中的能量强度不均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 去除 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种液体去除装置，是能够对附着于部件的表面的液体照射激光而将所述液体去除的液体去除装置，所述液体去除装置具有：激光光源；以及能量控制构件，将从所述激光光源射出的激光分割为多个激光，在所述液体所附着的照射位置，将所分割出的所述多个激光的一部分重叠，从而能够使照射面中的能量强度不均匀。
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