[发明专利]液体去除装置及液体去除方法

权利要求书

1.一种液体去除装置，是能够对附着于部件的表面的液体照射激光而将所述液体去除的液体去除装置，其特征在于，所述液体去除装置具有：

激光光源；以及

能量控制构件，将从所述激光光源射出的激光分割为多个激光，在所述液体所附着的照射位置，将所分割出的所述多个激光的一部分同时重叠照射，从而能够使照射面中的能量强度不均匀，

所述能量控制构件具有：

掩模，具有多个透射部；

透镜阵列，设置于所述掩模的所述激光的射出侧，具有多个透镜元件；以及

聚光透镜，设置于所述透镜阵列的所述激光的射出侧，

俯视时，所述多个透射部中的至少一个透射部的中心位于从对应的透镜元件的中心偏移的位置。

2.一种液体去除装置，是能够对附着于部件的表面的液体照射激光而将所述液体去除的液体去除装置，其特征在于，所述液体去除装置具有：

多个激光光源；以及

能量控制构件，在所述液体所附着的照射位置，将从所述多个激光光源射出的多个激光的一部分同时重叠照射，从而能够使照射面中的能量强度不均匀，

所述能量控制构件具有：

掩模，具有多个透射部；

透镜阵列，设置于所述掩模的所述激光的射出侧，具有多个透镜元件；以及

聚光透镜，设置于所述透镜阵列的所述激光的射出侧，

俯视时，所述多个透射部中的至少一个透射部的中心位于从对应的透镜元件的中心偏移的位置。

3.如权利要求1或2所述的液体去除装置，其特征在于，还具备：

回收部，能够回收从所述部件的表面浮起的所述液体。

4.如权利要求1或2所述的液体去除装置，其特征在于，

所述透镜元件的数量与所述透射部的数量相同。

5.一种液体去除方法，对附着于部件的表面的液体照射激光而将所述液体去除，其特征在于，所述液体去除方法具备如下步骤：

将激光分割为多个激光，在所述液体所附着的照射位置，将所分割出的所述多个激光的一部分同时重叠照射，从而使照射面中的能量强度不均匀，

所述能量强度的不均匀是利用能量控制构件进行的，

所述能量控制构件具有：

掩模，具有多个透射部；

透镜阵列，设置于所述掩模的所述激光的射出侧，具有多个透镜元件；以及

聚光透镜，设置于所述透镜阵列的所述激光的射出侧，

俯视时，所述多个透射部中的至少一个透射部的中心位于从对应的透镜元件的中心偏移的位置。

6.一种液体去除方法，对附着于部件的表面的液体照射激光而将所述液体去除，其特征在于，所述液体去除方法具备如下步骤：

在所述液体所附着的照射位置，将从多个激光光源射出的多个激光的一部分同时重叠照射，从而使照射面中的能量强度不均匀，

所述能量强度的不均匀是利用能量控制构件进行的，

所述能量控制构件具有：

掩模，具有多个透射部；

透镜阵列，设置于所述掩模的所述激光的射出侧，具有多个透镜元件；以及

聚光透镜，设置于所述透镜阵列的所述激光的射出侧，

俯视时，所述多个透射部中的至少一个透射部的中心位于从对应的透镜元件的中心偏移的位置。